Occasion FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 413 EC MOT (DP) 300 #9392940 à vendre en France
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ID: 9392940
Style Vintage: 2010
Wafer thickness measurement system
With automatic X-Y Stage
Thickness measurements of bonded wafers:
Si-Glass
Si-Si
Si-Tape
Si-Epoxy
GaAs
InP
Sapphire
Quartz
Trench depth measurements:
High aspect ratio trench in MEMS
Surface roughness measurements:
Back grind
Etched
Polished wafers
2010 vintage.
FSM 413 EC MOT (DP) 300 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer les caractéristiques électriques et géométriques d'une grande variété de matériaux au niveau du dispositif semi-conducteur. Avec sa combinaison de vitesse, de précision et de flexibilité leader dans l'industrie, ce système est utilisé pour développer et optimiser les dispositifs semi-conducteurs et fournir des commentaires pour l'amélioration des processus. FRONTIER SEMICONDUCTOR/FRONTIER 413 EC MOT (DP) 300 offre la possibilité de mesurer sur une variété de matériaux de production de plaquettes tels que le silicium, le silicium sur isolants (SOI), les composés GaAs et III-V, ainsi que des dispositifs de plaquettes massives, structurées et hybrides. L'unité comprend une capacité d'analyse numérique du signal et un testeur d'ondes acoustiques de surface (SAW), ce qui lui permet de détecter des défauts et des imperfections dans ces matériaux. La machine est équipée d'un canal vectoriel efficace qui permet une mesure simultanée et indépendante de plusieurs paramètres électriques. Cela offre une précision accrue par rapport aux systèmes plus classiques. De plus, le contrôleur de mouvement intégré et les capacités d'imagerie avancées du FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR/FRONTIER 413 EC MOT (DP) 300 fournissent des mesures point à point répétables et précises, même dans les environnements les plus difficiles. Le testeur SAW intégré offre une précision de détection des défauts supérieure. Le test SAW peut détecter à la fois des défauts à la surface de la plaquette et tout défaut noyé dans le matériau sous la surface de la plaquette. Les étapes de mouvement intégrées permettent une manipulation précise de l'échantillon en plusieurs dimensions, créant une répétabilité fiable lors des tests. Avec sa combinaison de fonctions de mouvement et d'imagerie, l'outil peut mesurer avec précision plusieurs paramètres simultanément. FSM/FRONTIER 413 EC MOT (DP) 300 utilise une puissante suite d'outils de métrologie avancés. Il est équipé d'un microscope optique à balayage proche du champ intégré (NSOM), qui permet une imagerie haute résolution de la surface de la plaquette. Ce microscope utilise de longues distances de travail et un large champ de vision pour étudier les caractéristiques des modèles d'appareils individuels. En outre, l'actif est équipé de microscopie à force atomique (AFM), qui peut détecter des défauts de surface nanométriques sur la plaquette. FRONTIER SEMICONDUCTOR/FRONTIER 413 EC MOT (DP) 300 est un puissant modèle d'essai et de métrologie de plaquettes qui offre la flexibilité et la précision requises pour mesurer les caractéristiques électriques et géométriques d'une grande variété de matériaux utilisés dans la production de dispositifs semi-conducteurs. Avec sa combinaison de contrôleurs de mouvement avancés, de capacités d'imagerie et d'outils de métrologie, l'équipement fournit des mesures précises et répétables et une détection fiable des défauts.
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