Occasion FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 500 Series #9293061 à vendre en France
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ID: 9293061
System
Used to evaluate the thermal properties
Stability of thin-film in semiconductor
III-V
Solar
LED
Data storage
MEMS
FPD Materials
3D Mapping and profiling included.
FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR Série 500 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir des mesures de précision pour les dispositifs semi-conducteurs. Ses principales utilisations sont d'identifier et d'analyser divers défauts ainsi que de fournir une gamme de solutions pour les prévenir et les réduire. Le système se compose d'un corps principal, d'étapes d'auto-détection, de bras de sonde d'échantillons et d'une variété de modules et d'accessoires. Le corps principal de la série FSM 500 est équipé d'un étage XYZ motorisé, d'une unité de vide, d'une boîte à inertie, d'une machine à pulvériser et de deux élévateurs à échantillons. L'étage a une portée de balayage de 25 mm x 20 mm, et est capable de manipuler jusqu'à huit plaquettes, mesurant d'une plaquette de 4 pouces à une plaquette de 8 pouces. L'outil à vide permet le montage sécurisé de la plaquette à l'intérieur du dispositif. De plus, la boîte inertielle intégrée permet un emplacement et une orientation précis de l'échantillon. L'actif pulvérisateur utilise alors du gaz noble pour générer un mince film d'oxygène, permettant un test optimisé de la plaquette. Les bras de FRONTIER SEMICONDUCTOR Série 500 se déplacent selon les axes X, Y et Z et ont une plage de déplacement de 20 mm et 140 mm respectivement. Ils adhèrent aux principes de conception d'un modèle de précharge de compensation dynamique et statique pour minimiser les frottements. Les bras sont également équipés de paliers à air pour réduire le contact de surface, ce qui entraîne moins d'usure et un fonctionnement fiable. Les modules et accessoires de la série 500 comprennent des stations de traitement de quartz, des systèmes de fraisage ionique et des systèmes de cartographie des plaquettes. La station de traitement du quartz est utilisée pour effectuer la gravure, le dépôt, l'activation de surface et divers autres traitements chimiques de surface. L'équipement de fraisage ionique permet une analyse précise des défauts et une implantation ionique. Le système de cartographie de la plaquette utilise une unité laser précise pour mesurer l'emplacement exact de la plaquette. Dans l'ensemble, FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR Série 500 est une machine avancée d'essai de plaquettes et de métrologie conçue pour fournir des mesures de précision pour les dispositifs semi-conducteurs. Avec son corps principal, ses étages d'auto-détection, ses bras de sonde et divers modules et accessoires, il est capable d'identifier et d'analyser rapidement et précisément divers défauts en plus d'offrir des solutions pour les réduire ou les prévenir.
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