Occasion FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT #9257455 à vendre en France
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ID: 9257455
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2012
Film stress measurement system, 8"
With wafer bow measurement
2D/3D Stress mapping standard
Semi-automated system
With convenient wafer loading and retrieval
2012 vintage.
L'équipement FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR FSM 128NT de FSM est un système d'essai et de métrologie des plaquettes entièrement intégré conçu pour automatiser le traitement des plaquettes et fournir des données de métrologie fiables pour l'analyse complexe des dispositifs. L'unité utilise une technologie optique avancée, des techniques de métrologie avancées et des algorithmes logiciels puissants pour analyser des plaquettes à grande échelle avec jusqu'à 128 étapes de processus indépendantes. La machine offre également une interface utilisateur graphique intuitive (UI) et est capable de traiter de nouvelles techniques de processus, ainsi que celles existantes. FSM 128NT dispose d'un certain nombre de capacités technologiques de pointe telles qu'une option de lithographie à double faisceau, des essais intégrés/métrologie avec laser, et l'inspection automatisée des plaquettes. Sa lithographie à deux faisceaux permet d'obtenir une précision précise, tandis que son test/métrologie intégré avec laser permet une haute résolution pour la caractérisation des dispositifs. De plus, l'outil comporte également une fonction d'inspection automatisée des plaquettes, qui détecte et isole automatiquement les plaquettes défectueuses avant leur traitement ultérieur. La technologie optique avancée des systèmes comprend un scanner de reconnaissance de motifs de diffraction laser qui image rapidement les motifs déposés et non affichés sur des plaquettes en temps réel. Il dispose également d'une cartographie de plaquettes d'inspection laser haute vitesse qui est utilisée pour la recherche précise des géométries critiques. L'utilisation du traitement numérique de l'image et de l'optique à fort grossissement simplifie encore la détection des défauts de motifs et l'analyse de la géométrie critique. FRONTIER SEMICONDUCTOR 128-NT dispose également de trois technologies avancées de banc humide ; un module de revêtement de spin, un module de striage humide avec analyse intégrée de la surface et un poste d'inspection des aiguilles. Le module de spin-coating dispense automatiquement une couche de revêtement humide ou sec sur la surface des plaquettes de manière automatisée. Le module de striage humide utilise des technologies de mouvement et de manipulation de haute précision qui permettent une analyse de surface robuste. Le poste d'inspection des aiguilles est utilisé pour détecter les aiguilles en fonction de la taille et de la reconnaissance des motifs à n'importe quel endroit sur une plaquette. Enfin, l'actif intègre des algorithmes logiciels puissants, qui permettent aux avocats de processus d'établir des séquences automatisées d'étapes de processus avec quelques touches. Le logiciel effectue une analyse approfondie des plaquettes et fournit des données de métrologie précises, rapidement et de manière fiable. Il intègre également une interface utilisateur graphique conviviale, ce qui permet aux utilisateurs de configurer facilement des processus de wafer et d'analyser des données. Avec toutes ces fonctionnalités, FSM FSM 128NT est une solution idéale pour les installations de fabrication nécessitant des résultats fiables du traitement automatisé des plaquettes.
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