Occasion GEMETEC Elymat III #9137889 à vendre en France
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ID: 9137889
Taille de la plaquette: 12"
Electrolytical metal analysis tool, 12"
Measurement precision diffusion length: 5% Over 10 repeated measurements
Measurement accuracy diffusion length: 10% Compared with similar techniques
Laser beam scans across silicon wafer immersed electrolytic cell (Dilute HF)
With applied voltage and resulting diffusion current measured
Measurement modes: BPC & FPC
Diffusion current decreases due to partial recombination diffusing carriers
Measuring different laser intensities allows iron to be identified.
GEMETEC Elymat III est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour améliorer l'inspection des plaquettes et le contrôle des processus de production. Il permet aux utilisateurs de mesurer avec précision et précision les paramètres électriques, physiques et dimensionnels clés d'une plaquette, permettant une inspection détaillée de chaque appareil dans une plaquette. Grâce à l'automatisation et à la cartographie optique sans contact, il permet l'imagerie pleine tranche et l'extraction de données. Le système utilise l'imagerie numérique monochromatique avancée, offrant aux utilisateurs une résolution d'imagerie extrêmement précise. Une plate-forme mécanique permet le balayage de plaquettes dans différentes configurations. L'unité est compatible avec une large gamme de tailles de plaquettes, y compris 150mm, 200mm, 250mm et 600mm. De plus, sa capacité d'inspection automatisée des motifs garantit que les utilisateurs peuvent mesurer rapidement et avec précision toutes les fonctionnalités imprimées sur une plaquette. Le cœur d'Elymat III est son appareil photo, qui utilise une technique avancée d'imagerie par réseau. Cette machine permet de mesurer toutes les caractéristiques d'une plaquette ou d'autres matériaux à haute résolution. L'imagerie par réseau permet également de tester des appareils électriques, supportant un large éventail de types d'appareils, tels que les grilles, les cellules standard et les structures à haute densité. Une autre caractéristique clé de l'outil est sa cartographie optique sans contact. Cette technologie permet l'imagerie intégrale et l'extraction de données en quelques minutes, fournissant aux utilisateurs une évaluation précise de l'ensemble de la plaquette. La cartographie optique sans contact permet également aux utilisateurs de vérifier rapidement et facilement la présence de bonnes caractéristiques, de détecter les défauts et d'identifier les problèmes de couplage électrique. GEMETEC Elymat III offre des mesures précises et cohérentes de chaque caractéristique sur une plaquette. Il supporte un large éventail de paramètres électriques et physiques, tels que la résistivité, la capacité et les constantes diélectriques. L'actif offre également 3D-profile caractérisation et surveillance de la contamination, permettant aux utilisateurs d'optimiser rapidement les conditions de processus et de minimiser la contamination sur la plaquette. Dans l'ensemble, Elymat III offre des capacités de test de wafer et de métrologie avec une précision et une répétabilité fiables. Son large éventail de caractéristiques, ainsi que sa technologie de cartographie optique sans contact, en font un modèle idéal pour améliorer l'inspection des plaquettes et le contrôle des processus.
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