Occasion HANRA HRI 580L #293635047 à vendre en France
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HANRA HRI 580L est un équipement d'essai et de métrologie avancé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il intègre les dernières technologies optiques, de vision des machines et de robotique pour inspecter et traiter les surfaces des plaquettes avec une grande précision et précision. Le système est capable de mesurer diverses propriétés telles que la réflectance, la planéité superficielle, le profil, l'épaisseur et les concentrations de dopage sur divers matériaux utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. HRI 580L est constitué d'une base d'outils, d'un outil de manipulation de plaquettes et d'une unité d'analyse d'images. La base d'outil est équipée d'un étage de positionnement rotatif qui est capable de positionner avec précision la plaquette et de mouvement continu jusqu'à 1 degré de rotation. Il contient également les axes X-Y-Z, permettant un alignement précis de la plaquette, ainsi qu'une rondelle de plaquette pour fixer et déplacer la plaquette. L'outil de manipulation de la plaquette est utilisé pour déplacer et manipuler précisément la plaquette sur la machine d'imagerie électronique rétrodiffusée. L'outil d'analyse d'image comprend un microscope optique, un microscope fluorescent et un interféromètre laser pour mesurer la planéité, les dopants et la topographie de surface. HANRA HRI 580L fournit des capacités de test de précision, de cartographie et d'imagerie. L'actif est équipé d'un étalonnage entièrement automatisé, permettant une mesure et un traitement de grande précision. Le microscope optique et l'interféromètre laser mesurent les propriétés de réflectance d'une surface de plaquette, tandis que le microscope fluorescent permet l'imagerie des concentrations de dopants. Les capacités de cartographie du modèle permettent de prendre plusieurs images haute résolution, permettant une analyse détaillée de la surface d'une plaquette et des tests de défauts. HRI 580L offre également des capacités d'acquisition et d'analyse de données. Il peut acquérir et analyser diverses données provenant de sources multiples, y compris les formes d'onde, les images et l'analyse statistique. Le logiciel convivial permet la synchronisation des données, ce qui est utile pour le contrôle des processus. Le logiciel peut également stocker des données pour une utilisation ultérieure. HANRA HRI 580L est un équipement d'essai et de métrologie avancé qui fournit des capacités de mesure et de traitement précises et précises. Il comprend un système d'étalonnage automatisé, un microscope optique, un interféromètre laser, un microscope fluorescent et une cartographie automatisée. L'unité peut acquérir diverses données à partir de sources multiples, permettant une analyse détaillée et le contrôle des processus.
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