Occasion HDI IPS-6000 / SRA-FA #128060 à vendre en France
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ID: 128060
Surface reflectance analyzer
Multi-channel
Full surface scans in less than 10 seconds
Patented temperature stabilized laser technology
Simultaneous S, P, Phase
Scattered light acquisition
Sub-angstrom sensitivity to overcoat and lubricant variations
Magnetic Imaging
0.1 Micron x 0.003 degree precision
3.2 Micron resolution
Air bearing spindle with integrated vacuum clamp for fast load / unload of disks
Includes:
65mm and 95mm collets for disks
Missing part:
Knob on back of analyzer.
HDI IPS-6000/SRA-FA est un équipement automatisé de haute précision d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour inspecter les plaquettes semi-conductrices et les circuits intégrés (IC) pour déceler les imperfections et les défauts structurels. Le système comprend à la fois des tests électriques et des contrôles optiques, permettant des mesures rapides et fiables de l'épaisseur des plaquettes, de la planéité, de la linéarité des motifs et d'autres caractéristiques importantes. Le IPS-6000 dispose d'un design modulaire, multi-axes avec des capteurs de mouvement intégrés et un design compact et léger pour faciliter l'installation et la maintenance. L'unité comprend une machine de commande de mouvement avancée pour contrôler avec précision la vitesse de balayage, la plage de mouvement et le positionnement de l'étage pendant les opérations de mesure. L'outil peut également être configuré pour mesurer plusieurs plaquettes dans une séquence continue, permettant une précision et un débit accrus. L'actif utilise un modèle de caméra avec une optique avancée et un équipement d'imagerie haute performance pour scanner l'ensemble de la plaquette pour détecter les défauts et les imperfections. Le système est conçu pour une utilisation dans une variété d'environnements, des installations de salle blanche aux environnements à forte humidité. Il est également facile à reconfigurer pour des mesures personnalisées, y compris la mesure précise de la définition des motifs et des microstructures. En plus de l'unité d'inspection optique, le IPS-6000 contient également une machine d'essai électrique avec des capacités d'interface analogique et numérique. Cela permet de tester électriquement des transistors à couches minces (TFT) et d'autres éléments à matrice active, ainsi que des mesures de performance électrique standard au niveau des plaquettes. Enfin, IPS-6000/SRA-FA comprend également un logiciel d'analyse des données FA pour l'évaluation complète des plaquettes et des circuits intégrés. Ce logiciel comprend une variété de fonctions d'analyse, y compris la détection en temps réel des défauts, l'évaluation des défauts, le suivi et la surveillance des processus. Le logiciel peut être personnalisé pour des tests spéciaux et des mesures pour des clients spécifiques, ce qui en fait un composant indispensable pour l'assurance qualité.
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