Occasion HITACHI ZA-H200UND #9383303 à vendre en France
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HITACHI ZA-H200UND est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la caractérisation de la production et de la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il offre un large éventail de capacités, y compris la gravure humide, l'analyse des défauts, l'inspection des particules, LEIS (spectroscopie ionique basse énergie) et QCM (microbalance cristal de quartz). ZA-H200UND dispose d'une chambre de 543mm de diamètre pouvant accueillir jusqu'à 200 plaquettes. Le système est équipé d'un moteur à grande vitesse qui peut faire tourner la plaquette jusqu'à 200 tours par minute. Le moteur à grande vitesse, combiné à la grande ouverture de la chambre, permet à HITACHI ZA-H200UND d'effectuer des mesures précises, telles que la dimension critique (CD) et l'imagerie par défaut, pendant le traitement des plaquettes et la métrologie. Les détecteurs haute résolution de l'unité recueillent des données avec une excellente précision et répétabilité. La machine comporte également un module de commande de mouvement qui permet à l'utilisateur de positionner précisément la sonde par rapport aux échantillons. Les données peuvent être stockées ou imprimées directement à partir de l'instrument. La haute qualité d'image de ZA-H200UND est soutenue par une variété de composants matériels avancés. Cela inclut l'utilisation d'une lentille compensée en longueur d'onde, permettant à l'outil de capturer des images à très faible distorsion ; une roue à filtre couleur, permettant à l'utilisateur de correspondre à la longueur d'onde de l'échantillon pour rétrécir le foyer et réduire la torche ; et un objectif stéréomicroscopique, offrant une plus grande profondeur de champ et permettant l'analyse de petits défauts microscopiques. Les fonctionnalités supplémentaires de HITACHI ZA-H200UND comprennent un logiciel d'alignement automatisé, qui permet à l'utilisateur d'aligner et de mesurer rapidement plusieurs plaquettes avec une fiabilité constante. ZA-H200UND utilise également une fonction nanomap, permettant à l'utilisateur de réduire facilement les mesures à une zone ou un dispositif spécifique sur la plaquette. En résumé, HITACHI ZA-H200UND est un actif de pointe en matière d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour la caractérisation de la production et de la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il est doté d'un moteur à grande vitesse, de détecteurs à haute résolution, d'un module de contrôle de mouvement, d'un logiciel d'alignement automatique et de divers composants matériels avancés qui permettent à l'utilisateur d'effectuer des mesures précises, une imagerie de dimensions critiques et une imagerie par défaut. La fonction nanomap de ZA-H200UND permet à l'utilisateur de réduire avec précision ses mesures, ce qui en fait un modèle idéal pour la métrologie avancée des wafers et le développement des processus.
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