Occasion IMS LVIS-2005 #9144063 à vendre en France

IMS LVIS-2005 est un équipement d'essai et de métrologie de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et basé sur le modèle d'essai Light Duty Resolution (LDR). LVIS-2005 fournit des capacités de pointe pour tester avec précision un large éventail de configurations de plaquettes. Le système est capable de mesurer une gamme de paramètres, y compris la taille de la matrice, l'angle de la matrice, la profondeur et le profil de la gravure, et l'épaisseur de la plaquette. L'unité fonctionne sur une plate-forme de métrologie sans contact, basée sur des sources lumineuses, avec une machine à balayage intégrée capable de mesures automatiques, d'ordre supérieur et de haute précision. L'outil dispose d'un étage optique de 8 pouces de diamètre couplé à un étage de 6 axes, qui sont tous deux capables de positionner les plaquettes à plus/moins 1 micron de sa valeur cible. L'étage est capable de supporter une variété de tailles de plaquettes, de 8 pouces à 6 pouces, et est capable d'accueillir des tailles de plaquettes de conceptions inférieures à 1 micron jusqu'à 5 mils. IMS LVIS-2005 est capable d'imiter différentes fonctionnalités sur la plaquette avec son actif d'imagerie haute résolution. Le modèle d'imagerie comprend des caméras CCD haute résolution, une suite complète de logiciels et une grande collection d'instruments de balayage. Il est capable de mesurer avec précision la hauteur et les dimensions de la matrice, des fosses, des marches, des largeurs de lignes et de la topographie de surface. L'équipement est également équipé d'une variété d'outils d'essai et d'aide à la métrologie pour assurer l'exactitude et l'efficacité. Ces outils comprennent un système de vérification à faible coût pour les petites plaquettes, une unité de reconnaissance automatisée des motifs, une machine de sursaut à haute résolution, un outil de régression polynomiale multi-axes, un atout de modèle de test spectral multi-facettes et un modèle de contrôle. TheLVIS-2005 est capable de fournir des données précises et précises par rapport à d'autres systèmes d'inspection des plaquettes. Le système de balayage sans contact de l'équipement est conçu pour des mesures de faible résolution et offre une large gamme de flexibilité pour différents types de plaquettes. LVIS-2005 est conçu pour des mesures complexes de haute précision pour la fabrication de plaquettes haut de gamme. Cette unité fournit une plate-forme de métrologie automatisée pour faciliter l'assurance de la qualité et la gestion du rendement.