Occasion IMS LVIS #9160840 à vendre en France
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ID: 9160840
Style Vintage: 2009
Visual inspection systems
Currently installed in clean room
2009 vintage.
IMS LVIS est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie produit par la société Image Metrology Systems. Le système se spécialise dans le test de structures micro-échelle sur plaquettes et permet une analyse approfondie sur celles-ci. Il est spécifiquement conçu pour mesurer les propriétés géométriques et électriques des structures de dispositifs III-V, SiGe et SOI. L'unité fonctionne en utilisant un étage, monté sur un palier à air de précision, pour déplacer et positionner les étages d'échantillon vers des zones d'alignement spécifiques. Une caméra numérique intégrée, associée à un logiciel spécialisé, est utilisée pour capturer des images de l'échantillon à différents grossissements. Les images sont ensuite analysées et utilisées pour mesurer des caractéristiques spécifiques de l'échantillon incluant des caractéristiques géométriques. LVIS est capable de mesurer un large éventail de propriétés géométriques, telles que les largeurs de lignes 2D et 3D, les profils de bord et les angles de flanc. Il peut également mesurer des propriétés électriques telles que la résistivité, la résistance de contact et les propriétés diélectriques. La machine est également capable de mesurer plusieurs échantillons en même temps, ce qui signifie qu'elle est idéale pour les applications de recherche et les lignes de production à haut débit. IMS LVIS est également capable d'effectuer des mesures précises de position et d'orientation, permettant un alignement précis de l'échantillon pendant le processus d'essai. Ceci garantit que la précision des mesures n'est pas compromise par une position ou une orientation incorrecte des étages d'échantillonnage. Enfin, les utilisateurs ont beaucoup de contrôle et de flexibilité en ce qui concerne le processus de test et de mesure. Les options de configuration avancées permettent à l'utilisateur de créer une séquence de test spécifique qui utilise un ensemble de fonctionnalités automatisées qui peuvent être utilisées pour mesurer plusieurs échantillons en une seule exécution. Dans l'ensemble, LVIS est un outil puissant et précis de test de plaquettes et de métrologie qui réunit la technologie d'imagerie laser de pointe avec une analyse logicielle puissante. Cela lui permet de mesurer les propriétés géométriques et électriques sur des échantillons avec une précision et un détail inégalés.
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