Occasion IMS / NANOTECH LVIS-3+ #9314421 à vendre en France

L'équipement IMS/NANOTECH LVIS-3 + d'essai de plaquettes et de métrologie est un instrument avancé et très précis pour caractériser et accélérer l'évaluation des substrats de plaquettes semi-conductrices. Le système utilise une nouvelle combinaison de technologies de balayage laser, de métrologie optique et de mesure de tension pour fournir une cartographie détaillée non destructive des propriétés des plaquettes en topographie et en électricité. IMS LVIS-3 + est conçu pour tester et caractériser des plaquettes pour diverses applications telles que la fabrication de dispositifs microélectroniques, de microsystèmes et de capteurs. En particulier, l'unité est conçue pour analyser des procédés tels que la photolithographie, l'oxydation, la diffusion, le dépôt et la gravure ainsi que des défauts structurels et des contaminations. La machine est adaptée à une large gamme de matériaux dont des semi-conducteurs III-V, du silicium sur isolant (SOI), du nitrure de silicium, de l'aluminium et d'autres structures déposées et gravées. NANOTECH LVIS-3 + utilise un microscope à balayage laser à haute résolution (LSM) capable de mesurer la topographie de surface et les propriétés électriques avec une résolution spatiale de 0,07 µm. Il permet de caractériser divers processus et paramètres, y compris la surface de contact, les vides, la granulométrie, la contamination de surface et l'uniformité. L'outil est équipé d'un interféromètre à lumière blanche haute résolution qui est utilisé pour mesurer la hauteur des marches et contrôler l'épaisseur du film. L'actif est également intégré avec des sondes de tension et un moniteur de tension, permettant de mesurer les circuits électriques, la résistance de contact et la surveillance des fuites de courant ou des courbes. LVIS-3 + est très efficace et peut examiner jusqu'à 15 sites simultanément. En outre, le modèle est conçu avec un débit automatisé à l'esprit et offre plusieurs fonctions d'analyse et d'édition automatisées. Cela permet des évaluations plus rapides et plus complètes des caractéristiques des plaquettes. En outre, l'équipement offre une interface utilisateur graphique intuitive pour la programmation et l'exploitation du système, ce qui le rend facile à configurer et à utiliser pour les utilisateurs expérimentés et inexpérimentés. En résumé, IMS/NANOTECH LVIS-3 + est une unité d'essai et de métrologie de plaquettes puissante et sophistiquée conçue pour fournir une caractérisation fiable et complète des substrats de plaquettes. Il permet d'évaluer l'épaisseur du film, la topographie et les propriétés électriques avec une grande précision et une grande efficacité. Les fonctionnalités conviviales et automatisées le rendent adapté aux utilisateurs expérimentés et inexpérimentés.