Occasion INSPECTROLOGY IVS-165 #9390277 à vendre en France
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ID: 9390277
CD Measurement system
LEICA 020-654.113-000 UV365 Microscope
Objectives:
PL Fluotar 5x/0.12
PL Fluotar L50x/0.55BD
Plan 20x/0.40.
INSPECTROLOGY IVS-165 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des mesures précises et à haut débit pour les technologies de pointe des semi-conducteurs. En utilisant une méthode d'essai modulaire et non destructive, le système est capable de fournir des résultats d'essai précis avec un minimum de dommages à l'échantillon. Cette unité de test et d'inspection des plaquettes est dotée d'une conception brevetée XY/ Θ avec une optique avancée et des techniques de traitement d'image avancées. Un mouvement de plaquette à quatre axes très précis est réalisé grâce à la combinaison de l'étage XY/ Θ et de la technologie de positionnement par roulement à air. Lorsqu'il est combiné avec des lentilles objectives et des sources d'éclairage, il peut mesurer la largeur, la hauteur et la profondeur des caractéristiques de l'échantillon avec une précision allant jusqu'à 1,5 μ m. En outre, le mouvement à grande vitesse permet jusqu'à 1000 cycles d'imagerie par seconde pour des mesures rapides des éléments IC. IVS-165 machine permet l'inspection de différents types de plaquettes semi-conductrices telles que SOI et MEMS. Il est idéal pour des applications telles que la cartographie des plaquettes, l'analyse des défauts des plaquettes et l'assurance de la qualité des produits. Lorsqu'il est utilisé pour la caractérisation des dispositifs MEMS, l'outil est capable de mesurer et d'analyser des couches individuelles et leurs caractéristiques avec une résolution allant jusqu'à 1 μ m. Il est également capable d'imager et d'analyser des structures telles que des largeurs de lignes, des trous de contact, des repères d'alignement, et même des structures 3D jusqu'à 1,5 μ m. Pour la surveillance des erreurs et des processus, l'actif est capable de détecter des défauts mineurs, y compris des piqûres et des vides mesurant jusqu'à la moitié d'un micron. Le modèle INSPECTROLOGY IVS-165 est livré avec un ensemble complet d'outils logiciels pour l'analyse d'image pratique et la surveillance des défauts. La suite logicielle permet aux utilisateurs d'accéder aux mesures en temps réel, aux rapports robustes et aux analyses de données post-test. Les outils peuvent effectuer la caractérisation automatisée des défauts, la comparaison des images et la reconnaissance des défauts. De plus, le logiciel comporte des fonctionnalités telles que le traitement par lots, les rapports de contrôle de la qualité et l'analyse de mesures spécifiques. IVS-165 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes très polyvalent et fiable conçu pour répondre aux exigences de la fabrication de semi-conducteurs. Grâce à ses puissantes capacités d'imagerie et de mouvement, le système est en mesure de fournir des mesures rapides et précises avec de faibles dommages d'échantillons. Les outils logiciels groupés en font une plate-forme idéale pour les tests de défauts, la surveillance des processus et l'assurance de la qualité des produits.
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