Occasion ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 #9129394 à vendre en France
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Vendu
ID: 9129394
Style Vintage: 2013
Wafer metrology system
Maximum accessible diameter: 210 mm (StraDex a3-50)
Accessible rotation: 90° / 180°
Auto focus
StraDex a3 - 50 (Precision mechanical bearing)
StraDex f24 - 300 (Airbearing)
Antivibration plate below chuck
Optical wavelengths:
StraDex a3 - 50: ~500 nm (Maximum height evaluation 120 μm)
StraDex f24 - 300: 1300 nm (Minimum silicon thickness 10 μm)
(2) Calibrated silicon objects:
123 μm thick plate with 10 nm roughness
300 μm thick plate with 1 nm roughness
Technical specifications:
Sensor system:
StraDex a3 - 50 (top left):
Field-of-view: (0.35 mm)^2
Lateral pixel size: 0.35 μm
Working distance: 3.5 mm
Auto-focus range: 4 mm
Maxmimum warp: <3 mm
Maximum Z-height: 60 μm (High-resolution ) / 120 μm
Repeatability (high-resolution): 0.5 nm (In-plane), 3 nm (step)
Total acquisition time: Type 4 seconds, 1 seconds (Reduced FOV)
Maximum focusing speed: 200 pm/s
StraDex f24 - 300 (Top & Bottom center):
Spot size: 24 μm
Auto-focus range: 24 - 44 mm
Maximum warp: 1.5 mm
Maximum acquisition rate (Fast mode): 4 kHz
Thickness (Silicon):
10-350 μm (Fast mode)
10 - 800 μm (Slow mode)
Thickness (Glass, Polymer):
20 - 750 μm (Fast mode)
20 - 1000 μm (Slow mode)
Acquisition rate: <4 kHz
Accuracy and repeatability conditions:
Surface roughness Rz < 0.1 μm
Confidence range: 2 Sigma
Thickness sensor (Stradex f24 - 300) performance:
Absolute accuracy: < +/- 0.5 μm
Repeatability (fast mode): < +/- 0.1 μm
Repeatability (slow mode): < +/- 0.5 μm
Stage:
Maximum X / Y Travel range: 300 x 300 mm^2
Maximum velocity: 30 mm/s
Lateral accuracy: 2 μm
Maximum height variation repeatable: 2 μm
Free positioning via keypads
Anti-vibration table
Air suspension
Perforated vacuum:
Chuck for double side (Swiss cheese)
Unframed and framed wafers for 6"-12"
Inter-center spacing: 10 mm Holes at 20 mm
Vacuum for wafer suction (6 Bar air pressure required)
Computer: Intel i7 with screen
(2) HDD Raids
With (2) 1TB
Fan filter unit: ISO Class 10
Housing: White powdered coating
Data interface: LAN
Temperature: 10°C-35°C
Power supply: 100-240 V, 50-60 Hz, 3kW
Barcode scanner
Barcode and recipe
SECS/GEM Extension:
SEMI (E 30, E 37, E 5) Includes
Recipe handling (RMS)
2013 vintage.
ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 est un système d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour la production, l'inspection et l'emballage de semi-conducteurs. Il est alimenté par un système de détection et d'inspection optique développé spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une solution intégrée pour la détection des défauts, l'analyse topographique, la caractérisation électrique, l'enregistrement de superposition et de position, et l'inspection des plaquettes 2D/3D. SemDex 301-34 dispose d'une variété de technologies de gravure et de numérisation pour effectuer des opérations de processus et de métrologie. L'unité est équipée d'une suite complète d'outils d'imagerie embarqués comprenant une gamme de laser, de scanner de ligne et de caméras AutoTrack. Un système de test électrique en cours d'exécution est intégré, permettant de rendre compte en temps réel des paramètres électriques des dispositifs testés. ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 fournit des capacités détaillées de cartographie de la matrice, permettant aux utilisateurs de vérifier avec précision l'emplacement de tous les défauts. Différents modes de balayage à grande vitesse sont disponibles pour caractériser avec précision l'ensemble de la plaquette, et les outils d'imagerie à haute résolution permettent de détecter même les plus petits défauts. L'unité fournit des résultats supérieurs quel que soit l'état de la plaquette, et est capable d'inspecter les plaquettes de toute taille, forme et épaisseur. SemDex 301-34 dispose également de puissantes capacités de gestion Overlay et Offset. Un analyseur de décalage temps réel fournit des mesures de couverture jusqu'à 5 nanomètres afin de garantir un alignement précis de la plaquette lors du balayage. Des fonctions d'inspection des lots et de reconnaissance des modèles sont prévues pour l'évaluation rapide et automatisée des défauts et l'analyse des données. ISIS SENTRONICS SemDex 301-34 est un outil puissant et fiable pour l'essai, l'inspection et l'emballage des semi-conducteurs. Sa conception robuste et ses capacités avancées le rendent adapté à un large éventail d'applications, allant des inspections simples aux opérations complexes de processus et de métrologie. SemDex 301-34 peut être utilisé pour obtenir des taux de rendement plus élevés, réduire les coûts et garantir une assurance de qualité maximale dans le domaine des semi-conducteurs.
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