Occasion JMAR Mirage #140281 à vendre en France
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ID: 140281
Precision laser measurement system
Turbo PMAC control
Camera
Objectives
Control computer with software installed
Keyboard, monitor, joystick control
(3) SCHOTT DCR III light sources with fiber optic lights.
JMAR Mirage est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui contribue à améliorer la production de semi-conducteurs. Le système est composé de divers composants qui travaillent ensemble pour faciliter les essais efficaces et la métrologie des semi-conducteurs. L'unité comprend une optique avancée, telle qu'une optique d'imagerie télécentrique, pour l'imagerie d'échantillons ainsi qu'une couverture spectrale complète depuis les UV profonds jusqu'à l'IR proche. Un étage d'axe 3 à haute résolution est utilisé pour l'alignement et le balayage précis des échantillons. L'échantillon est éclairé à l'aide de lumière visible et infrarouge et le signal réfléchi est capturé à l'aide d'un détecteur d'imagerie CCD. Le détecteur CCD fournit également des capacités d'imagerie thermique qui permettent des mesures de métrologie plus précises. En métrologie, Mirage est équipé d'un scanner 3D de pointe qui intègre la technologie optique et mécanique pour capturer des mesures rapides et précises de la topographie des semi-conducteurs et des caractéristiques microscopiques. Le scanner avancé capture avec précision la forme et la dynamique des fonctionnalités, y compris la hauteur, la planarité et la taille des fonctionnalités. La machine présente aussi un logiciel Nano IntutionTM pour exactement découvrir et mesurer des défauts sousde surface et d'impuretés. JMAR Mirage dispose également d'une multitude de capacités de mesure, y compris la superposition et l'alignement, la mesure des défauts CD et SEM, l'évaluation de l'épaisseur et de la contrainte du film, l'uniformité des caractéristiques, la warpage et les réticules litho. L'outil dispose également d'une multitude de capacités d'analyse telles que la reconnaissance interactive des motifs, la classification automatique des défauts et la gestion de la durée de vie. Dans l'ensemble, Mirage est un outil efficace de test et de métrologie des plaquettes qui peut aider les fabricants de semi-conducteurs à augmenter leurs rendements de production et à améliorer la qualité. Le modèle offre une haute résolution optique, des vitesses d'acquisition rapides et un ensemble polyvalent d'outils de mesure et d'analyse.
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