Occasion KLA / FILMETRICS F20 #293637542 à vendre en France
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KLA/FILMETRICS F20 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des mesures fiables, répétables et précises de diverses caractéristiques des plaquettes à semi-conducteurs. Le système utilise la technologie d'interférence lumineuse pour caractériser avec précision diverses propriétés des matériaux, y compris l'épaisseur, la topographie et d'autres caractéristiques de surface. Le KLA F20 se compose de quatre composants principaux : un étage de précision, une source lumineuse, une optique et une électronique. L'étage de précision est utilisé pour balayer la plaquette et contrôler l'emplacement par rapport à la source lumineuse. Les sources lumineuses sont des LED très stables, émettant de la lumière dans la longueur d'onde visible. Les optiques sont des lentilles et des filtres spécialement conçus pour contrôler la direction et la polarisation de la lumière émise. Les composants électroniques fournissent la puissance et les données nécessaires à l'unité. FILMETRICS F20 comporte deux types de paramètres de mesure intégrés : un point unique et un balayage linéaire. Pour des mesures ponctuelles, l'étage se déplace vers un emplacement défini par l'utilisateur, et la machine mesure l'amplitude crête à crête de la lumière réfléchie. Ces informations sont ensuite utilisées pour calculer l'épaisseur, la topographie et d'autres caractéristiques matérielles de la plaquette. Pour les mesures de balayage linéaire, l'utilisateur définit un chemin et l'outil balaie la plaquette en utilisant le même processus de mesure d'amplitude crête à crête qu'avec les mesures en un seul point. Toutes les données sont ensuite collectées et traitées pour générer une carte topographique 2D. F20 est conçu pour fournir des mesures rapides, précises et répétables des plaquettes. L'électronique embarquée utilise des algorithmes avancés pour s'ajuster aux changements de conditions, tels que la dérive thermique et les vibrations. L'actif permet également de vérifier l'exactitude et la répétabilité de la mesure, en fournissant une rétroaction si une mesure n'est pas tolérée. KLA/FILMETRICS F20 dispose d'un module SRS optionnel qui effectue des mesures de corrélation de caractérisation personnalisées. KLA F20 est un outil idéal pour tester les matériaux et contrôler les processus des plaquettes semi-conductrices. Le modèle est facile à installer, à utiliser et à entretenir et dispose d'un fonctionnement convivial. Il offre une large gamme de capacités de mesure pour la caractérisation précise des plaquettes à grande vitesse.
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