Occasion KLA / TENCOR 2915 #9168923 à vendre en France
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ID: 9168923
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
Inspection system, 12"
2900 Ducting DFIHS
PHOENIX v2.0 VQ line
45 kVA 25 Cassette HH
12" SW
DSH 065
Haze
Shiny 2915 IDA rack
E84 Error recovery suite
Dual E84 RGV & OHT, PHX, DFIK
SHHKO E87 / E39
E90 K40 / K94 GEM / SECS
HSHS 2 Onron VG40 V3 CID
PHX SHHKO Safety skirt
DFIHS, PHX OHT, E-stop and lockout, DF
PHX Dual loadport info pad kit
G4 FIHS Ionization remote blower conversion kit
Blower cable: 290X/1X (50ft) 20m
Main power cable: 290X/1X
2900 Logic and memory inspection modes
Optics available: 0.05, 0.065, 0.08, 0.09, 0.12, 0.16, 0.2, 0.22
Exposure modes:
Blue band
Broad band
UV Deep band
UV Middle band
UV Ultra broad band
Ultra deep band
GH I Line
G Line
HI Line
I Line VIS
2012 vintage.
KLA/TENCOR 2915 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs performants. Il fournit des fonctions complètes de tests numériques et de métrologie pour les équipements de photolithographie les plus avancés de l'industrie. Le système est une plate-forme de métrologie entièrement numérique, automatisée et à balayage en lumière blanche, capable de mesurer avec une extrême précision les petites caractéristiques des plaquettes à semi-conducteurs. L'unité utilise une machine d'imagerie optique avancée pour mesurer avec précision les caractéristiques à petite échelle avec une précision nanométrique. Il est capable de mesurer jusqu'à un maximum de 10 000 paramètres de plaquettes, y compris les largeurs de lignes, les dimensions critiques (CD), les écarts de bord et la planéité des surfaces de plaquettes. L'outil comprend deux modules : le CAD (convertisseur analogique-numérique) et le module de métrologie. Le module ADC convertit l'information analogique en données numériques ; le module de métrologie acquiert des images de surfaces de plaquettes qui sont ensuite analysées avec précision. L'actif permet l'acquisition de données à grande vitesse et peut détecter et identifier automatiquement les caractéristiques de la plaquette. Le modèle est construit sur une plateforme logicielle fiable, qui fournit des outils de gestion de données supérieurs et une interface graphique conviviale. Il dispose également d'une variété de modules logiciels conçus pour analyser les données et les présenter dans un format facile à comprendre. L'équipement est conçu pour tirer pleinement parti des normes industrielles disponibles telles que les normes SEMI et ISO. Il est entièrement compatible avec les outils et les équipements de fabrication de semi-conducteurs les plus avancés de l'industrie. Il est également construit avec un chemin de mise à niveau facile, permettant aux utilisateurs d'étendre facilement les capacités du système au besoin. KLA 2915 offre un large éventail de caractéristiques et d'avantages pour soutenir l'industrie de haute technologie. Il permet aux utilisateurs d'acquérir et d'analyser des données extrêmement précises rapidement et efficacement. Il est conçu pour un fonctionnement facile et un entretien minimal, fournissant des résultats d'essais et de métrologie de haute qualité. En outre, son excellente plateforme logicielle assure la compatibilité avec d'autres appareils de l'industrie. L'unité TENCOR 2915 est conçue pour fournir une solution complète et hautement fiable pour les exigences d'essais de plaquettes et de métrologie. Son imagerie optique avancée, son acquisition rapide de données et son logiciel intuitif en font un choix idéal pour toute ligne de production de semi-conducteurs.
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