Occasion KLA / TENCOR 300DFF1P #9283029 à vendre en France

L'équipement KLA/TENCOR 300DFF1P est une plate-forme d'essai et de métrologie dédiée aux plaquettes qui fournit des mesures complètes, des analyses et une surveillance des processus avec la plus grande précision et précision. Le système permet aux ingénieurs de processus d'effectuer des tests complets pour détecter et repérer les défaillances critiques des processus rapidement, précisément et efficacement. L'unité KLA 300 DFF1P dispose d'un large éventail de technologies de pointe, y compris l'inspection dynamique des réticules, la métrologie automatisée des plaquettes, l'inspection et le nettoyage, la mesure de texture, la métrologie 3D, le CD SEM (Scanning Electron Microscopy) et la métrologie aérienne alimentée par drone. La machine utilise la métrologie de grande surface pour l'analyse et les mesures rapides et puissantes des plaquettes. Cela permet de mesurer des plaquettes sur le même substrat et avec le même paramétrage, permettant une comparaison et une analyse de données plus précises. Cette technologie est utilisée pour analyser les inclinaisons et rotations des plaquettes, identifier la distribution des particules, déterminer les caractéristiques électriques critiques d'une plaquette et effectuer des mesures de métrologie, y compris la dimension critique (CD) et l'uniformité des dimensions critiques (CDU). L'outil offre un routage amélioré, une automatisation et d'autres fonctionnalités de programmation avancées pour faciliter les tests efficaces. L'automatisation des tâches courantes est réalisée par des scripts de protocole programmables qui permettent des opérations autonomes, avec une intervention manuelle minimale. Les algorithmes automatisés de reconnaissance des motifs permettent également une analyse plus approfondie des paramètres électriques critiques d'une plaquette pour repérer rapidement et précisément les mécanismes de défaillance du processus. TENCOR 300 DFF 1 P comprend un actif de détection et de nettoyage de particules basé sur l'image combiné avec des algorithmes brevetés de détection de bord. Ce modèle garantit que les défauts et les particules sont identifiés avec précision, isolés et éliminés rapidement et avec une perturbation minimale du processus. L'équipement dispose d'une architecture multi-capteurs pour la mesure de texture, permettant l'analyse de la taille des grains, de l'orientation et de la rugosité de surface. En outre, le système utilise une unité de métrologie 3D hautement sensible pour analyser la nanométrie qui fournit des informations précises sur les distributions de hauteur des caractéristiques sur la plaquette. La résolution de la machine est suffisamment élevée pour détecter les changements d'épaisseur de film, de largeur de ligne, de CD et de profondeur de toute structure 3D comme les tranchées et les vias. Enfin, l'outil comprend également la métrologie aérienne avec la technologie de drones automatisés intégrés pour la collecte et l'analyse de données 3D supérieures. Les actifs de métrologie automatisés basés sur des drones permettent d'améliorer l'analyse de surface des plaquettes avec une grande précision et fiabilité. En outre, le modèle est également capable d'effectuer des essais électriques approfondis par des mesures de courant-tension, de capacité et d'inductance. Cela permet un meilleur contrôle des paramètres et l'optimisation des processus.