Occasion KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #131418 à vendre en France
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ID: 131418
Taille de la plaquette: 4", 5", 6"
Wafer inspection system
Unpatterned wafer
Resolution: 0.3 microns at 95%
Capture based on latex calibration wafers
Substrate Material: Silicon
Substrate Thickness: 0.3 - 0.75 mm
Substrate size: 4", 5", 6"
Throughput up to 60 wafers/hour.
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN est un équipement conçu pour les essais avancés de plaquettes et de métrologie. Ce système offre aux utilisateurs un moyen très efficace et rentable de mesurer et d'inspecter une variété de caractéristiques des plaquettes. La nouvelle unité de test et de métrologie des plaquettes est surtout connue pour son matériel avancé, ses logiciels intelligents et ses capacités d'analyse d'images avancées. La machine utilise un microscope optique X1 pour capturer des images de la surface de l'échantillon avec un grand champ de vision. Cette fonctionnalité permet des mesures de grande surface, permettant aux utilisateurs d'obtenir rapidement et avec précision les données dont ils ont besoin avec un minimum d'effort. Le microscope X1 est également équipé d'une fonction de mise au point automatisée qui réduit les erreurs de l'utilisateur pendant la mesure. L'outil intègre également un algorithme de reconnaissance de motifs qui permet des mesures automatisées et des identifications de défauts. Cet algorithme est conçu pour détecter les écarts de minute par rapport aux tailles, formes et topologies de surface souhaitées. En outre, l'actif dispose d'un moteur logiciel propriétaire qui permet des mesures avancées et des identifications de défauts. Ce logiciel permet aux utilisateurs de définir des seuils, de définir des paramètres, de configurer les flux de processus et d'effectuer des opérations de post-traitement. KLA 4000 SURFSCAN offre également aux utilisateurs une gamme d'autres fonctionnalités innovantes. Par exemple, il supporte un large éventail d'éléments de test de plaquettes tels que les mesures de métrologie dimensionnelle. De plus, il est capable de détecter ou de localiser les défauts les plus difficiles même sur les surfaces les plus difficiles. Le modèle est également compatible avec de nombreux formats standard, dont STDF, ITRF et SAW. Pour assurer des performances élevées, l'équipement comprend diverses caractéristiques de sécurité. Cela comprend un contrôle automatique de l'exposition pour maintenir des niveaux d'imagerie optimisés et une fonction intégrée de protection contre la surtension pour protéger les échantillons contre les dommages. TENCOR 4000 SURFSCAN comprend également un étage de vide de haute précision qui assure un alignement précis et une manipulation cohérente des échantillons. Au total, 4000 SURFSCAN est un système fiable et économique de test de plaquettes et de métrologie. Avec ses capacités d'analyse d'image avancées et son moteur logiciel robuste, il offre aux utilisateurs un moyen très efficace et rentable d'optimiser les caractéristiques des plaquettes et d'identifier rapidement les défauts.
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