Occasion KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #3787 à vendre en France
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KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour la production de semi-conducteurs à haut volume. Ce système offre la dernière technologie pour la caractérisation des motifs et des bosses-métrologie. Il est utilisé pour l'inspection des défauts, la mesure des dimensions critiques (CD) et l'alignement des recouvrements pour s'assurer que les plaquettes répondent aux exigences de production. L'unité dispose d'un étage de haute précision et d'une optique avancée. Il fonctionne dans un environnement sous vide et peut mesurer des niveaux d'appareil à de grandes puces d'essai. La machine comprend également un étage à grande vitesse élargissant la plage de balayage à 45x plus rapide que les outils standard. Son balayage quatre axes offre la flexibilité de l'utilisateur dans un ensemble unique. L'outil est équipé de plusieurs caractéristiques qui rendent l'inspection des plaquettes plus rapide et plus précise. Son architecture intégrée accélère les multiples scans nécessaires à une métrologie complète. Il dispose également d'analyses de données embarquées pour une caractérisation accélérée des défauts des plaquettes. En outre, il offre des mises à niveau matérielles sur place au besoin. KLA 4000 SURFSCAN dispose d'une interface utilisateur intuitive et graphique pour simplifier l'interaction utilisateur avec l'actif. Reconnaissance avancée des modèles, analyse en temps réel, et une gamme d'outils de rapport permettent aux utilisateurs de créer des rapports d'inspection avec facilité. Le modèle dispose également d'une gamme de modes automatiques qui augmentent le débit tout en réduisant le coût total de la propriété. Il est capable de mesurer de petites caractéristiques et des géométries complexes avec une précision répétable. De plus, ses sources lumineuses peu endommageantes permettent des mesures de plaquettes sans affecter négativement les performances du dispositif. L'équipement offre des capacités de métrologie avancées. Il peut mesurer une gamme de caractéristiques et de structures, y compris les nanostructures, les dimensions critiques, l'alignement de recouvrement, les largeurs de lignes et les formes. Le système utilise plusieurs technologies de sonde pour acquérir des images à haute résolution et effectuer une analyse complète. TENCOR 4000 SURFSCAN fournit des tests et une métrologie flexibles et puissants pour le processus de fabrication. Sa large gamme de capacités de mesure et sa grande précision en font une solution idéale pour l'inspection et la caractérisation des plaquettes à haut volume.
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