Occasion KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9157364 à vendre en France

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN est un équipement d'essai et de métrologie de nouvelle génération et à la fine pointe de la technologie. Il est conçu pour assurer une inspection rapide, précise et automatisée des plaquettes à motifs, permettant la surveillance des processus, la gestion des défauts et l'amélioration des rendements. Le système est composé d'un sous-système de microscopie optique légère, d'un sous-système d'imagerie acoustique et d'un sous-système de traitement d'images. Le sous-système optique du Surfscan utilise des capacités d'imagerie avancées pour permettre l'inspection des défauts à haute résolution et des mesures dimensionnelles/morphologiques dans de multiples grossissements. Cette unité utilise à la fois les propriétés de microscopie de champ noir et de champ lumineux, ainsi que l'éclairage UV en option, pour permettre une large gamme d'applications d'inspection des plaquettes. Il est capable de détecter et d'imaginer des défauts de niveau submicron sur des plaquettes à motifs avec précision et précision. Le sous-système d'imagerie acoustique de KLA 4000 SURFSCAN utilise la microscopie acoustique laser pour fournir des caractéristiques focales non destructrices sur une large gamme de tailles et d'épaisseurs de plaquettes. Cette caractéristique est particulièrement utile pour détecter les défauts dans les diélectriques ultra-bas-k et pour inspecter les couches enterrées à l'intérieur des plaquettes. Le sous-système d'imagerie acoustique est capable de détecter des tailles de caractéristiques allant de 300 nm à 10 microns, avec un niveau élevé de distinction entre des caractéristiques similaires et une variété de types de défauts. Le sous-système de traitement et d'analyse des images du Surfscan utilise des algorithmes avancés pour effectuer la segmentation automatisée des images, la reconnaissance des motifs et la classification des images. Il a également la capacité de détecter les changements au sein des processus définis, d'identifier les modèles et de caractériser un large éventail de caractéristiques et de défauts des plaquettes. La machine de traitement et d'analyse d'images est conçue pour donner un aperçu détaillé des propriétés des plaquettes, tant lors de l'inspection initiale que lors de la surveillance du temps d'exécution des plaquettes. Cela permet un dépannage rapide et une acceptation rapide du produit. TENCOR 4000 SURFSCAN offre une solution efficace et économique pour les essais de plaquettes et la métrologie. Sa combinaison de capacités d'imagerie avancées, d'imagerie acoustique et de traitement et d'analyse d'images permet la détection et la caractérisation de divers défauts avec une grande précision et précision. Cet outil est idéal pour les essais de plaquettes, la surveillance des processus et la gestion des défauts, permettant aux fabricants d'améliorer les rendements tout en réduisant les coûts.