Occasion KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9160808 à vendre en France
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KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour inspecter les plaquettes semi-conductrices pour détecter les défauts physiques, les raccourcis électriques et la conformité des paramètres afin de réduire les coûts de fabrication et d'améliorer la qualité des produits. Il utilise plusieurs technologies, dont le balayage laser, la diffusion optique, la profilométrie magnéto-optique, la scatterométrie et la métrologie des capteurs d'images 2D. Le système intègre diverses techniques d'automatisation, telles que la vision de la machine, la robotique et le contrôle des processus pour mesurer avec précision et efficacité les caractéristiques électriques des couches, largeurs de lignes, épaisseurs et autres caractéristiques d'une plaquette. L'unité intégrée comprend également un balayage rapide, un contrôle logiciel avancé et des capacités de test et d'inspection des appareils. La machine Surfscan 4000 contient plusieurs composants matériels, dont une station de sonde automatisée pour permettre de tester les plaquettes rapidement et avec précision. L'outil comprend également plusieurs instruments de collecte de données tels que l'interféromètre laser à balayage (SLI), l'installation de test électrique (ETF), les caméras spécialisées et un processeur d'analyse pour analyser les données collectées. L'actif comprend également un logiciel de contrôle des processus pour permettre la réplication précise des procédures de test, ainsi que des fonctionnalités logicielles pour permettre la détection des erreurs. Le modèle optique du Surfscan 4000 comprend également plusieurs composants, comme un équipement d'éclairage par contour de réflexion (RCIS), qui fournit un champ d'éclairage uniforme et réglable le long de la surface de la plaquette. Cela permet au système de mesurer avec précision le profil de surface, les largeurs de ligne, les mesures d'angle, la non-uniformité du CD et d'autres caractéristiques. L'unité est conçue pour être utilisée avec tout type de plaquette, du silicium, à l'arséniure de gallium, et d'autres matériaux. Le Surfscan 4000 est capable de mesurer et d'évaluer des structures de plaquettes complexes, y compris des structures 3D, et est adapté à une inspection de plaquettes rentable. La machine peut également être configurée pour le traitement monobloc et par lots. Il peut être utilisé pour l'inspection dans des chaînes de fabrication à haut volume et est capable de fournir des résultats de haute performance et de haute précision qui peuvent être utilisés dans le contrôle de la qualité ou pour la recherche et le développement. Dans l'ensemble, KLA 4000 SURFSCAN est un outil de test et de métrologie avancé et automatisé conçu pour réduire les coûts de fabrication et améliorer la qualité des produits. Il est capable d'effectuer des mesures rapides, précises et répétables des caractéristiques électriques, des largeurs de ligne, des épaisseurs et d'autres caractéristiques pour s'assurer que les composants de la plaquette répondent aux exigences de l'industrie et du client.
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