Occasion KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9229798 à vendre en France

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN est un puissant équipement de test et de métrologie de plaquettes qui offre une grande précision et stabilité dans un emballage compact. Le système se compose d'une unité d'imagerie à échelle, d'un étage d'échantillonnage motorisé, de quatre canaux de rayonnement, d'un interféromètre laser optique de haute précision et d'un traitement et d'un contrôle intégrés du signal. La machine d'imagerie à échelle permet un balayage rapide et précis d'une grande variété de types d'échantillons, y compris les plaquettes nues, les plaquettes collées, les piles de plaquettes doubles et les dispositifs multicouches. Cet outil utilise un masque d'ouverture de collimateur/obturateur programmable combiné à un ensemble de caméras CCD haute résolution pour acquérir des images détaillées des structures de fonctionnalités pour l'évaluation et la comparaison. L'étage d'échantillonnage motorisé est capable de mouvements X/Y/Z précis et reproductibles, offrant une excellente plate-forme pour des mesures précises au niveau des plaquettes. Le mouvement X/Y est entraîné par des moteurs pas à pas et des chevauchements pour permettre un processus de balayage rapide et répétable. Le mouvement Z est piloté par un moteur à courant continu et permet une focalisation z pour assurer le plus haut niveau de précision pour les mesures de gap et autres mesures tridimensionnelles. L'interféromètre laser intégré est intégré pour permettre le réglage des hauteurs des échantillons dans le plan X/Y. L'actif fonctionne en combinant le rayonnement de quatre canaux de rayonnement distincts : un spectre de longueur d'onde visible (VIS), un spectre proche infrarouge (NIR), un spectre ultraviolet (UV) et un spectre ultraviolet/THz (UV-THz). Cette combinaison de sources de rayonnement permet une détermination précise de la topographie de la plaquette, ainsi qu'une évaluation des défauts et des performances die-by-die. Le rayonnement est combiné à travers un modèle d'imagerie d'échantillons et dirigé sur l'échantillon, où il est ensuite renvoyé aux capteurs. L'équipement KLA 4000 SURFSCAN d'essai de plaquettes et de métrologie fournit une analyse précise et non destructive des échantillons de plaquettes nues et bosselées. Grâce à sa combinaison de sources de rayonnement et d'interférométrie optique, le système est capable d'acquérir des images complètes et à haute résolution des meurtres et des structures. L'unité est également conçue pour une intégration facile avec des systèmes de manutention automatisés, permettant une utilisation efficace des ressources lors du traitement de grands pourcentages de plaquettes. En tant que tel, il est un excellent outil pour l'analyse des défaillances et le contrôle des processus dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs.