Occasion KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9248058 à vendre en France

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN est un équipement complet d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour le contrôle des processus dans la fabrication de microélectroniques. Le système est basé sur des principes d'imagerie optique et interférométrique quad-cell, permettant l'imagerie de surface de haute précision et la métrologie de petites caractéristiques pour l'analyse et le contrôle. La plate-forme optique de l'unité obtient de multiples images de la plaquette grâce à une variété d'objectifs de microscope et de faisceaux laser, qui permettent la métrologie 3D et la détection automatisée des défauts. En utilisant le champ lumineux, le champ sombre, la diffusion et la microscopie à intensité laser totale, KLA 4000 SURFSCAN peut détecter des défauts et des anomalies au niveau des atomes individuels. Il a également la capacité de mesurer et d'enregistrer des paramètres tels que l'épaisseur du film et les dimensions critiques à différentes profondeurs pour le contrôle du processus. La machine caractérise, classe et mesure automatiquement les défauts sur l'ensemble de la plaquette avec une résolution de niveau nanométrique. Son débit élevé permet un diagnostic rapide et efficace des plaquettes, permettant aux fabricants d'identifier, d'analyser et de corriger rapidement les défauts et anomalies liés aux processus. En outre, l'outil dispose d'une variété de logiciels d'analyse de données, y compris une série d'applications avancées de rédaction de rapports pour produire rapidement des rapports détaillés et complets. TENCOR 4000 SURFSCAN offre une gamme de fonctions de test et d'analyse de plaquettes automatisées et manuelles. Son automatisation avancée et son outil de manutention automatisé permettent le chargement, le déchargement et le positionnement automatisés des plaquettes. Le modèle utilise également une large gamme de capacités matérielles, telles que son équipement d'imagerie bi-laser, 6 étages motorisés d'axe, et swap-out automatique des plaquettes, pour la manipulation et le positionnement précis des plaquettes. Son système intégré de commande de mouvement permet le balayage des plaquettes et des opérations pas à pas pour une orientation précise des plaquettes sur d'autres systèmes de métrologie ou d'inspection. 4000 SURFSCAN est conçu pour mesurer et contrôler un large éventail de paramètres de surface pour le contrôle des processus. Sa fonction d'imagerie à base de plaquettes de pointe et propriétaire permet d'inspecter en surface les revêtements antireflet, les polissages mécaniques chimiques, les formes de polygones, les paramètres de planéité et de courbure, la précision de l'enregistrement de lithographie et d'autres mesures de grande surface. L'unité dispose d'un large éventail de paramètres de détection des défauts, y compris la recherche automatisée, la déclaration, la zone d'analyse, la dimension critique et la taille des défauts, pour fournir une analyse complète des défauts. La machine est entièrement conforme aux normes mondiales de l'industrie et est livrée avec un certain nombre de fonctionnalités facultatives, y compris les macros logicielles et les logiciels d'analyse d'image. Il dispose d'une excellente immunité aux vibrations et est conçu pour fonctionner en salles blanches avec les classifications ISO 5. L'outil est conçu pour une précision et une fiabilité maximales, ce qui le rend adapté à une utilisation dans des lignes de production de haute précision.