Occasion KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293627875 à vendre en France
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ID: 293627875
Taille de la plaquette: 4"
Wafer inspection system, 4"
Process: GaAs.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN est un équipement sophistiqué de métrologie et de test de plaquettes pour les fabricants de semi-conducteurs. Il est utilisé pour mesurer, analyser et évaluer les wafers de production pour des dimensions critiques telles que l'épaisseur, la planéité de surface et la hauteur des marches. Le système est conçu pour fournir une rétroaction en temps réel aux opérateurs et aux ingénieurs afin de maintenir la qualité des plaquettes et d'assurer un contrôle serré des processus. KLA 4500 SURFSCAN utilise des techniques de microscopie avancées pour effectuer une analyse 3D haute résolution des surfaces. Il utilise un scanner Piezo pour un positionnement rapide et précis, ainsi qu'une source lumineuse blanche brillante pour éclairer l'échantillon. Cela permet une résolution sous-nanométrique lors de la mesure et de l'évaluation des caractéristiques de l'échantillon. L'unité est capable de détecter et de mesurer des caractéristiques aussi petites que 200nm. TENCOR 4500 SURFSCAN est capable de générer plusieurs types de cartes de plaquettes et de données topographiques. Ceux-ci comprennent une carte de base qui montre la surface de l'échantillon dans son ensemble, ainsi que des cartes détaillées des irrégularités plus fines et des profils de surface 3D. Il est ainsi facile de localiser et d'identifier les zones les plus à risque ou préoccupantes. La machine dispose également d'une gamme d'outils d'analyse statistique qui permettent aux utilisateurs de générer rapidement des données telles que des statistiques sur CD, des cartes auto-focus et des cartes de classes de wafer. Ces données peuvent être utilisées pour comparer des plaquettes à une spécification d'uniformité de CD et identifier des valeurs aberrantes. 4500 L'outil SURFSCAN permet de sauvegarder et d'exporter des données pour une analyse ou un contrôle de qualité plus poussé. L'actif peut également être utilisé pour générer des 'alertes' en direct lorsque les paramètres extérieurs sont respectés, par exemple lorsqu'une caractéristique dépasse un certain seuil. Cela fournit une rétroaction en temps quasi réel, permettant aux fabricants de prendre des mesures correctives immédiates si nécessaire. En résumé, KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN est un outil puissant qui peut être utilisé pour mesurer et inspecter les plaquettes avec une extrême précision afin d'assurer un contrôle serré des processus et la qualité des plaquettes. Le modèle est capable de générer des ensembles de données détaillés, des caractéristiques cartographiques et des anomalies, ainsi que d'exporter des données vers des outils d'analyse tiers ou des systèmes de contrôle de la qualité.
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