Occasion KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9355439 à vendre en France

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe qui est utilisé pour mesurer avec précision la topographie des plaquettes. Le système effectue des mesures tridimensionnelles de dimension critique optique (CD) et permet de surveiller les variations de processus des dispositifs semi-conducteurs. KLA 4500 SURFSCAN utilise la technologie brevetée FTP (Fourier Transform Profilometry) qui utilise un interféromètre, basé sur un miroir diélectrique commercial relativement peu coûteux, pour mesurer les caractéristiques topographiques d'une surface de plaquette. Cette unité permet alors des mesures CD précises des caractéristiques et de leurs différences entre le début et la fin d'un processus. TENCOR 4500 SURFSCAN est équipé d'une variété d'appareils et d'outils tels qu'un étage XY motorisé pour la manutention et la traduction des plaquettes ; un étage Z motorisé pour le contrôle du mouvement de l'objectif de « dilatation » de l'interféromètre (en bref) ; un mode intégré de reconnaissance des motifs fluorescents microscope/ir pour l'alignement et l'enregistrement des plaquettes ; une alimentation électrique pour le séparateur de faisceau interférométrique ; et une sonde d'échantillonnage pour une fonctionnalité minimale de balayage par contact et d'échantillonnage. 4500 SURFSCAN fournit également aux utilisateurs une variété de capacités d'analyse et de visualisation. Tout d'abord, il est capable de fournir des informations détaillées incluant des mesures de CD sous plusieurs formats. Ceci est dû à ses capacités de traitement d'image en temps réel, qui peuvent détecter rapidement les changements dans les conditions de processus. En outre, il est capable de fournir des informations sur les changements dans les images spectrales, ainsi que des changements dans les intensités de motifs. Deuxièmement, la machine permet aux utilisateurs de filtrer des données afin de se concentrer sur des tendances et des fluctuations spécifiques. Enfin, grâce à ses capacités automatisées de mesure de CD, KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN est en mesure de fournir des mesures de CD plus rapides et plus précises que jamais, permettant aux utilisateurs de détecter rapidement les problèmes de processus. Globalement, KLA 4500 SURFSCAN est un outil puissant et efficace pour mesurer rapidement et avec précision la topographie d'une plaquette pour la surveillance des processus des dispositifs semi-conducteurs. Sa conception polyvalente et avancée permet aux utilisateurs de détecter avec précision les changements dans les conditions de processus, d'améliorer le rendement des plaquettes, de réduire les déchets de processus et, en fin de compte, d'accroître la rentabilité.