Occasion KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9363455 à vendre en France
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ID: 9363455
Wafer inspection system
Surface contamination: 2"-6"
Detects particles: 0.2µm
Automated cassette to cassette
Haze measurement and seven level haze map
Un-patterned wafers
Repeatability: 1% at Standard deviation
Resolution: 0.2µm
Substrate material: Opaque, polished surface that scatters < 5% incident light
Substrate thickness: 0.3 - 0.75 mm
Substrate size, 3"-6"
Throughput: 150 mm diameter for 30 seconds per load.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN est un outil avancé d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour l'inspection et la caractérisation des plaquettes au niveau de la production. Grâce à ses technologies brevetées, le KLA 4500 SURFSCAN peut mesurer jusqu'à 5 pouces de wafer à haut débit. Il est assez rigide et flexible pour s'adapter aux besoins des clients, tout en fournissant des résultats rapides, précis et fiables. TENCOR 4500 SURFSCAN offre une gamme complète de capacités de test et de métrologie automatisées. Ses options avancées de test et d'analyse comprennent des moyens de définition de défauts tels que la topographie, l'épaisseur du film, la texture, la composition, la contrainte, l'orientation du cristal et d'autres propriétés semi-conductrices. Le système offre également une reconnaissance automatisée des caractéristiques, permettant une détection et une analyse rapides des anomalies sur la surface de la plaquette. 4500 SURFSCAN utilise des technologies d'imagerie très avancées pour capturer des images à champ constant et à force constante, avec jusqu'à 5 picomètres de résolution. Grâce à ses puissants algorithmes de traitement d'image, le système peut détecter même des caractéristiques de niveau submicronique sur toute la surface de la plaquette. Cela permet la métrologie des plaquettes à toutes les étapes du processus, en veillant à ce que toutes les étapes du processus soient contrôlées et testées avec précision. En outre, KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN est équipé d'un logiciel puissant qui permet aux opérateurs d'analyser les résultats mesurés. Il fournit un large éventail de fonctionnalités de visualisation, de traitement des données et d'analyse statistique qui sont essentielles pour une inspection et une caractérisation rapides et précises des plaquettes. KLA 4500 SURFSCAN est conçu pour accompagner les fabricants de semi-conducteurs dans leur quête de processus de production sans défaut. L'un des principaux outils de métrologie sur le marché, il garantit fiabilité et précision, tout en respectant les contraintes de coût du client. Le système offre un excellent mélange de capacités de métrologie automatisée des plaquettes et de rentabilité, ce qui en fait le choix idéal pour les essais et la caractérisation des plaquettes au niveau de la production.
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