Occasion KLA / TENCOR 4500 #293662761 à vendre en France

KLA / TENCOR 4500
ID: 293662761
Taille de la plaquette: 6"
Wafer inspection system, 6".
KLA/TENCOR 4500 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes très avancé conçu pour mesurer les propriétés électriques, optiques et physiques des plaquettes semi-conductrices. Le système utilise la nouvelle KLA Advanced Pattern Detection Unit (APD) qui permet une métrologie plus précise et plus fiable. Cette machine est équipée d'un étage AFM automatisé monobloc, donnant des images de plus haute résolution même sur les petites structures. Il comprend également la microscopie électronique à balayage et la spectroscopie à résolution temporelle pour l'analyse chimique, ce qui donne des résultats très précis. KLA 4500 offre une large gamme de capacités de mesure pour les propriétés électriques, optiques et physiques au niveau de la plaquette, y compris la métrologie des dimensions critiques (CD), la rugosité de la largeur de ligne (LWR), la métrologie des recouvrements, la métrologie de l'épaisseur du film, la contrainte et la photoluminescence (PL). Toutes ces mesures sont supportées par un scanner photorésistant intégré à haute résolution. Le scanner peut également être utilisé pour l'inspection des défauts pour détecter même les plus petits défauts et leur impact sur les performances de la plaquette. L'outil dispose également d'outils logiciels avancés pour l'analyse et l'optimisation des données. Le logiciel Advanced Pattern Detection (APD) améliore la précision et la répétabilité de l'analyse et du contrôle des données, ainsi que le temps de cycle des plaquettes. Le logiciel TENCOR Pattern Inspector est utilisé pour découvrir et caractériser les défauts, en mesurant leur taille, leur forme et leur impact. L'actif comprend également un module de recherche, permettant d'étudier en détail les propriétés de matériaux comme les isolants et les semi-conducteurs. TENCOR 4500 dispose d'un grand espace de travail, permettant de charger jusqu'à huit plaquettes à la fois et de mesurer des plaquettes jusqu'à 300 mm. Ce modèle est idéal pour les opérations de production à grande échelle, en raison de sa combinaison exclusive de vitesse, de précision et de répétabilité. Cet équipement est conçu pour répondre aux normes de sécurité et environnementales les plus strictes, et est conforme aux dernières normes de l'industrie. 4500 est un système incroyablement puissant, offrant des mesures de précision, une analyse précise et un traitement de données à grande vitesse pour réduire les coûts et maximiser les performances. Avec son large éventail de capacités et ses outils logiciels avancés, il est l'unité parfaite pour les essais détaillés de plaquettes et la métrologie.
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