Occasion KLA / TENCOR 5000 Surfscan #64216 à vendre en France
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ID: 64216
Taille de la plaquette: 8"
Non-patterned surface inspection system, up to 8".
KLA/TENCOR 5000 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de plaquettes qui fournit une analyse d'image rapide et précise, permettant une inspection à haute résolution des appareils sur les plaquettes traitées. Le système d'imagerie utilise une conception avancée composée d'un étage XY motorisé, d'une caméra CCD et d'un éclairage sensible. L'unité acquiert des images jusqu'à sept fois la vitesse des systèmes statiques classiques et fournit une sensibilité extrême pour la détection et la caractérisation des défauts. Le balayage rapide de l'étage automatisé est alimenté par une machine de commande motorisée innovante et l'acquisition d'images à grande vitesse permet une analyse approfondie de la topographie des plaquettes. KLA 5000 Surfscan est optimisé pour les applications de métrologie et de surveillance des processus, et est capable d'effectuer des mesures de structures critiques, dimensionnement et dimensionnement des défauts, ainsi que le tri basé sur l'image et l'isolement des défauts. L'outil dispose d'une haute sensibilité et résolution, avec une résolution de 1 micron par pixel et pas besoin de résolution de sous-pixel. Cela permet une mesure très précise, permettant une surveillance et une réparation rapides et précises des variations de processus. L'actif est livré avec une gamme complète d'opérateurs, des outils d'analyse et de mesure ainsi qu'une base de données d'images et des capacités d'analyse statistique. Il est capable d'analyser une variété de données de topographie d'appareils tels que les durées de vie et la rugosité de surface et fournit une capacité puissante d'afficher des données dans une variété de formats. L'interface utilisateur intuitive et facile à utiliser facilite l'exécution rapide et précise des tâches d'inspection. TENCOR 5000 Surfscan possède une précision de sous-pixel de pointe et un cap de défaut, ce qui signifie qu'il peut inspecter divers modèles de caractéristiques complexes nécessitant une grande précision, telles que des rainures en V, des trous de contact, des couches diélectriques et plus. De plus, le logiciel de métrologie et d'analyse programmable de pointe permet de caractériser avec précision les défauts. Il est spécifiquement conçu pour améliorer le rendement, accélérer le développement des processus et réduire la perte de plaquettes, faisant de 5000 Surfscan le modèle de test et de métrologie de plaquettes idéal pour les fabricants de semi-conducteurs et d'appareils électroniques.
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