Occasion KLA / TENCOR 5000 #6428 à vendre en France

KLA/TENCOR 5000 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit une gamme de technologies afin d'augmenter le débit de production, d'améliorer le contrôle de qualité et de stimuler le rendement. Il s'agit d'un système intégré et automatisé de métrologie des plaquettes capable d'automatiser les processus critiques de fabrication avant, tels que l'inspection, l'examen et la classification des défauts, la mesure des dimensions critiques et les mesures sur plaquettes. KLA 5000 dispose d'une suite d'outils intégrés pour automatiser et contrôler les différentes étapes de la mesure de l'appareil. Les principaux composants de la machine comprennent : un dispositif à couplage de charge (CCD) pour l'imagerie wafer, un prober avec un bras motorisé à 6 axes pour la sonde automatisée wafer, un contrôleur de métrologie avec une interface écran tactile, une bibliothèque de vision pour la détection et la classification des défauts, un interféromètre laser pour les mesures dimensionnelles, une chambre d'environnement pour la température, l'humidité et le contrôle de pression, et une chambre de microscopie thermique pour l'imagerie de précision. L'outil a été conçu pour traiter une variété de matériaux et de procédés, y compris des films diélectriques bas-k, des substrats d'emballage avancés, des dispositifs MEMS, des matériaux nanostructurés et des substrats contraints. Par ailleurs, chaque partie de l'actif est conçue pour être numérique, permettant de transférer des données de métrologie entre différents lieux, tels que la plaquette fab, les laboratoires de test ou les sites clients. De cette façon, les clients peuvent visualiser, analyser et gérer leurs données rapidement et facilement. En combinaison avec sa technologie avancée de détection, de révision et de classification des défauts, le modèle TENCOR 5000 fournit des connaissances précieuses sur les performances des appareils. Ceci permet de caractériser le comportement des défauts et d'identifier les variations et faiblesses des procédés de fabrication. De plus, en combinant les technologies CDSEM et AFM, il est en mesure d'obtenir une imagerie haute résolution qui permet une analyse précise des structures complexes. Avec son ensemble de technologies avancées et son contrôle automatisé, 5000 équipements peuvent grandement améliorer l'efficacité et la précision des processus de fabrication avant, permettant aux clients de produire des appareils de haute qualité et de résoudre les problèmes de limitation de rendement d'une manière plus rentable.