Occasion KLA / TENCOR 5010 #9083811 à vendre en France

KLA/TENCOR 5010 est un puissant équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour répondre aux besoins actuels et futurs de la fabrication de semi-conducteurs. Ce système offre une précision, une précision et une vitesse de pointe, permettant une évaluation et une analyse rapides et répétables des plaquettes. Il est équipé d'une unité de chargement automatisée, lui permettant de travailler avec des tailles de cassettes allant jusqu'à 8 pouces et d'analyser jusqu'à 50 plaquettes par heure. KLA 5010 dispose de capacités avancées de métrologie et d'essai des plaquettes, y compris l'inspection optique et électrique, ainsi que la classification et l'analyse des défauts. Il intègre quatre composants principaux : la machine à balayer, un module de traitement automatisé des plaquettes, un module de contrôle des processus en ligne (IPC) et une station de mesure intégrée. L'outil de balayage utilise un atout d'imagerie optoélectronique qui capture la réflectance, la lumière transmise, la fluorescence et l'information de polarisation. Ceci est combiné avec une technologie de mesure non destructive qui est capable d'analyser simultanément plusieurs films, y compris des films minces, épais et étagés, dans une variété de géométries. Le modèle de manutention de la plaquette est capable à la fois de balayage de bord et de balayage aléatoire qui minimise la distorsion, tout en conservant la plus grande précision pour les mesures. Il peut être configuré pour traiter différentes tailles de cassettes et types de plaquettes/rubans, y compris ceux montés dans des anneaux de plaquettes, avec des cassettes à couvercle manuelles ou motorisées, et des plaques de vidange. L'équipement prend également en charge la cartographie des données à l'aide de la carte Quantum Interface Pixel Map (QIPM), qui permet aux utilisateurs de localiser rapidement et précisément les points et les défauts sur la plaquette. Le module IPC offre un moyen efficace de contrôler la qualité des plaquettes et est adapté au tri avant et arrière des plaquettes. La station de mesure intégrée offre des fonctionnalités de métrologie telles que la sonde centrale automatisée, les sondes à 3 points et taches, le balayage de bord de haute précision et les capacités d'analyse plus poussée. TENCOR 5010 est la combinaison ultime d'essais de plaquettes et de métrologie, garantissant un processus de contrôle de qualité rapide, précis et répétable. Ce système répond aux exigences actuelles pour des processus de mesure de plaquettes sophistiqués et efficaces.