Occasion KLA / TENCOR 5011 #136438 à vendre en France

KLA/TENCOR 5011 est un équipement d'essai et de métrologie automatisé de plaquettes à haute sensibilité et sans contact. Il est utilisé pour diverses applications de semi-conducteurs, telles que l'inspection de la surface des plaquettes, la localisation des défauts des plaquettes, les mesures de dimensions critiques (CD), les mesures d'erreurs de recouvrement et les mesures de profil de surface. Le système KLA 5011 utilise deux technologies avancées d'imagerie sans contact, qui permettent une analyse rapide et ultra-sensible des données des plaquettes. Les techniques de scatterométrie optique (OS), utilisées pour la caractérisation de la surface des plaquettes, permettent des mesures rapides avec une précision et une répétabilité améliorées, même sur les plaquettes aux structures de surface complexes. Une unité d'imagerie au microscope électronique à balayage (SEM), installée sous la machine OS, permet à l'opérateur d'identifier, d'isoler et d'analyser une seule caractéristique ou défaut sur la surface de la plaquette. Ces deux technologies avancées sont liées à l'outil KLA intégré, qui fournit des informations essentielles telles qu'un balayage détaillé de la surface de la plaquette et des informations de recouvrement. Cela permet à l'opérateur d'analyser rapidement et avec précision la géométrie, les défauts et la composition de la plaquette. TENCOR 5011 actif est conçu pour être hautement automatisé, avec un temps de cycle de 15 secondes, un taux d'acquisition d'image bitmap complet de 1,1 secondes, et un débit de 200 wafers/heure. Il peut également manipuler des plaquettes avec des diamètres de 2 pouces à 8 pouces, et la taille minimale de la caractéristique est de 1 micron. Les algorithmes sophistiqués du modèle permettent une analyse rapide et automatisée de la forme, même pour des structures de surface complexes avec des caractéristiques sub-microns. En outre, la fonction auto-opérateur propriétaire TENCOR permet à l'utilisateur d'identifier et d'évaluer rapidement et avec précision les valeurs aberrantes sur la carte de la plaquette. Cette fonctionnalité détermine et affiche automatiquement les tendances et trouve les changements de paramètres de processus rapidement. L'équipement 5011 est conçu pour fournir des performances, une vitesse et une précision robustes, et il peut être utilisé dans une grande variété d'applications. KLA/TENCOR offre une gamme de modules complémentaires facultatifs, y compris la capacité de mesurer le bord de la planche, l'analyse automatisée des pores et des vides, l'alignement des trous de poinçon, les surfaces des coussins et les lignes de scribe. Ce système est conçu pour être évolutif et pouvoir être intégré dans les lignes de production existantes. Grâce à ses performances robustes, l'opérateur peut obtenir des résultats fiables à chaque fois.