Occasion KLA / TENCOR 5011 #293616228 à vendre en France

KLA / TENCOR 5011
ID: 293616228
Overlay precision measurement system.
KLA/TENCOR 5011 est l'un des systèmes d'essai et de métrologie de plaquettes les plus avancés disponibles sur le marché. Il est utilisé pour mesurer un large éventail de caractéristiques critiques et électriques sur les plaquettes semi-conductrices. L'équipement est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 8 "de taille avec un haut degré de précision, ce qui le rend idéal pour une variété d'industries, y compris les télécommunications, la puissance, l'automobile, et l'éclairage LED. Le système comprend deux composantes principales : une station d'inspection des wafers et une station de métrologie/d'essai des wafers. La station d'inspection Wafer comprend un microscope, un laser, une focalisation et un alignement, ainsi que des capacités de traitement d'images. Ce poste permet une inspection et une caractérisation détaillées de la surface et de la structure de la plaquette. En prenant des images haute résolution de chaque plaquette, l'unité est en mesure d'identifier les défauts et autres irrégularités qui pourraient affecter le fonctionnement du produit semi-conducteur. Le Wafer Metrology/Test Station dispose d'un puissant spectromètre et d'une gamme d'appareils de test et de mesure automatisés. Cette station permet de mesurer avec précision une variété de caractéristiques et de propriétés électriques sur la plaquette. Il s'agit notamment de mesurer la topographie de la surface de la plaquette telle que l'épaisseur du film, ainsi que des caractéristiques électriques telles que la tôle et la résistance de contact. En fournissant des données physiques et électriques, la machine est en mesure d'identifier et de caractériser avec précision les variations de processus sur la surface de la plaquette. En plus de ces fonctionnalités, l'outil offre également d'excellentes capacités de détection de défauts en ligne. En tirant parti des capacités avancées d'inspection et de métrologie de l'actif, les clients sont en mesure d'identifier rapidement, d'analyser et de prendre des mesures correctives pour remédier aux défauts ou irrégularités constatés sur la surface de la plaquette. Dans l'ensemble, KLA 5011 est un modèle d'essai et de métrologie de plaquettes très fiable et polyvalent. En fournissant à la fois l'analyse détaillée et la caractérisation de la surface de la plaquette, ainsi que la détection avancée des défauts, cet équipement est un outil essentiel pour les clients dans une variété d'industries.
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