Occasion KLA / TENCOR 5011 #9226125 à vendre en France

KLA / TENCOR 5011
ID: 9226125
Taille de la plaquette: 6"
Overlay precision measurement system, 6".
KLA/TENCOR 5011 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes très précis qui est utilisé pour l'analyse des plaquettes et la constatation des défauts. Ce système de métrologie utilise une combinaison de la technologie de microscopie électronique à balayage (SEM) et de techniques d'imagerie optique puissantes pour capturer des mesures et des photos très détaillées de toute la surface de la plaquette. KLA 5011 offre une analyse complète des plaquettes et une inspection des défauts dans une seule unité de métrologie. TENCOR 5011 utilise une machine propriétaire de transport de plaquettes qui est conçue pour manoeuvrer chaque surface de plaquettes à travers l'outil. Cet actif de transport est conçu pour transporter avec précision et précision les plaquettes de silicium à travers les systèmes d'imagerie et d'imagerie optique SEM sans causer de dommages. Une fois la plaquette en place, le modèle est capable d'effectuer des balayages de bord en deux dimensions (2D), une imagerie en trois dimensions (3D), des hauteurs de pas sans contact, des hauteurs de pas de plaquettes et une mesure de résistivité. 5011 est optimisé pour une grande précision et vitesse, permettant une large gamme d'analyse de plaquettes et de détection de défauts. L'équipement est capable de détecter et d'identifier les défauts tels que les dislocations, les variations de processus et la contamination des particules, le tout dans une seule plate-forme automatisée. De plus, le système est également capable de détecter l'impression à travers des défauts, des problèmes d'étape, des lignes incrustées, des caractéristiques morphologiques, des empreintes de résistivité et diverses autres caractéristiques des plaquettes. Le composant d'imagerie optique de KLA/TENCOR 5011 est capable de délivrer des images à très haute résolution de surfaces de plaquettes. Cela permet d'identifier des défauts et des caractéristiques qui seraient autrement impossibles à détecter. L'unité d'imagerie optique est également configurée pour détecter les défauts dans les modes de champ sombre, permettant une détection de contraste clair. En plus des fonctions de test et de métrologie des plaquettes, KLA 5011 propose également un ensemble complet d'outils d'analyse et de tri des données. Cette fonction permet aux utilisateurs de trier rapidement et facilement les données pour hiérarchiser les inspections, les défauts de drapeau et déterminer l'impact sur le rendement à partir des calculs et de l'analyse statistique. TENCOR 5011 est une machine puissante et fiable capable de fournir des résultats de test et de métrologie de plaquettes très précis et fiables. Cet outil est conçu pour fournir une couverture étendue à une large gamme de tailles et de processus de plaquettes, et est capable d'offrir la plus grande précision et le débit le plus rapide disponible dans le domaine des essais de plaquettes et de la métrologie.
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