Occasion KLA / TENCOR 5015 #9003106 à vendre en France

KLA / TENCOR 5015
ID: 9003106
Overlay metrology system.
KLA/TENCOR 5015 est un équipement de pointe pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Il propose des technologies avancées d'imagerie par microscopie électronique à balayage (SEM) pour observer et mesurer les paramètres des structures des appareils sur les plaquettes semi-conductrices. Ce système permet de capturer des images extrêmement détaillées de la structure des dispositifs, tels que les structures de pont et de grille, avec une résolution pouvant atteindre 5 nanomètres. KLA 5015 est proposé dans plusieurs configurations pour évaluer différents types d'appareils. La chambre peut être configurée avec deux ou trois ports pour le faisceau d'électrons, permettant l'imagerie multi-faisceaux et la métrologie pour les grands échantillons à la fois. L'unité exploite des algorithmes brevetés de traitement d'image pour détecter et mesurer avec précision les caractéristiques de l'appareil, permettant un très haut débit et une excellente répétabilité lors des mesures. TENCOR 5015 est équipé d'une source de faisceau à haut courant, d'un étalonnage automatisé, d'une surveillance complète de la machine et de systèmes avancés d'éclairage hors axe pour produire des vues multiples d'un échantillon. De plus, l'étage de plaquettes à recette in situ permet d'effectuer des séquences de tests thermiques automatisées. 5015 est également intégré avec un moteur de contrôle des processus statistiques et une série complète de logiciels pour permettre des résultats rapides et précis pour les couches et les structures complexes des appareils. L'outil comprend des filtres de salle blanche entièrement intégrés, des capteurs de température et d'humidité, et d'autres fonctionnalités pour assurer la propreté de l'environnement et la répétabilité des résultats. Le termperon KLA/TENCOR 5015 reste toujours contrôlé à une plage optimale pour une imagerie précise. La source de faisceau de courant élevé de l'actif garantit que des lignes très minces peuvent être balayées avec précision. Les systèmes intégrés de manutention des échantillons automatisent le chargement et le déchargement des plaquettes avec des systèmes de vision précis et un chargement en chambre dédié. La fonctionnalité automatisée du modèle garantit un minimum de travail et une efficacité améliorée. KLA 5015 est un excellent équipement pour travailler avec les technologies les plus avancées telles que l'imagerie multi-tension, l'analyse des statistiques de rendement, la localisation automatisée des défauts et d'autres nouveaux processus. En outre, son vaste logiciel réduit le coût de propriété en permettant d'effectuer des tâches complexes d'imagerie et de métrologie de manière rapide et précise. Le système réduit le besoin de revoir les images, et fournit des données traçables sur tous les paramètres de l'appareil. Cette unité est un choix idéal pour la plupart des opérations de fabrication de plaquettes.
Il n'y a pas encore de critiques