Occasion KLA / TENCOR 5015XP #9105783 à vendre en France
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ID: 9105783
Style Vintage: 2000
Overlay metrology system
CD Measurement capability
Currently stored in cleanroom
2000 vintage.
KLA/TENCOR 5015XP est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes technologiquement avancé conçu pour améliorer le rendement, réduire le temps de cycle et augmenter les économies pour les fabricants de semi-conducteurs. En combinant intelligence artificielle de pointe et imagerie aérienne haute résolution, l'UCK est en mesure d'identifier, d'inspecter et de mesurer avec précision les caractéristiques de chaque puce sur les plaquettes traitées. Le système est conçu pour être très précis dans la mesure de la forme et de la taille de chaque puce individuelle et l'inspection des surfaces des puces. Il est équipé d'une interface conviviale intuitive, de sorte que les opérateurs peuvent rapidement et facilement configurer les paramètres de test et ajuster les paramètres de métrologie à la volée. L'unité est également équipée d'un ensemble d'analyse propriétaire, le NGED (Next Generation Edge Detection), qui permet une analyse de détection de bord pour des mesures précises. Cela permet aux opérateurs d'analyser des plaquettes en plusieurs points, plutôt qu'en un seul point, chaque puce étant analysée avec précision à un niveau individuel. La machine dispose également d'un faible bruit, outil de mouvement de haute précision, avec une conception à faible vibration porte-air qui permet un positionnement lisse et précis des plaquettes en cours de traitement. En outre, l'actif utilise un modèle d'acquisition de données à grande vitesse pour une collecte de données plus rapide, ainsi que des caméras de métrologie capables de capturer des images à haute résolution de chaque individu meurt. KLA 5015XP permet aux opérateurs de mesurer simultanément une variété de caractéristiques de la matrice, y compris la définition des bords, la taille de la matrice, la symétrie, la planéité, la circularité, la zone, le périmètre et les dimensions critiques. L'équipement est aussi sans couture intégré avec Gravent à l'eau forte, la Diffusion, la Lithographie et le logiciel RoundRobin, en tenant compte de l'alignement de post-production et de post-traitement sans coutures de données. Enfin, le système est très fiable grâce à l'unité d'alerte d'assistance à la maintenance, qui alerte les opérateurs en temps réel si une maintenance est nécessaire. Cela permet de réduire au minimum les temps d'arrêt, ce qui permet d'augmenter la productivité et d'améliorer les économies.
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