Occasion KLA / TENCOR 5100 XP #293727707 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293727707
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Overlay measurement system, 8"
Wafer loader system:
Transport system: (2) Cassette loader / unloader
Pre-alignment: OF Detection function
Control console:
Menu terminal
Image display terminal
5501 Analysis station
DEC VLC 4000
RAM: 16 MB
QIC Tape drive: 320/525 MB
Floppy Disk Drive: 3.5"
Image hard copy
Printer
SECS
Patlite
Hard Disk Drive (HDD): 2 GB
Wafer thickness: 725 µm
Minimum die size: 3 mm
Maximum die size: 50 mm
Measurement throughput: <85 Sheets / hour
Clean dry air:
Flow rate: 84.9 l/min
Pressure 603 kg/cm² - 7.7 kg/cm²
Tube, 1/4"
(3) Vacuums:
Hg: 635 mm
Flow rate: 28.3 l/min
Tube, 1/4"
Exhaust:
Duct system: 14.5"
Flow rate: 250 cfm
Missing parts
Temperature: 19°C - 25°C
Power supply: 200 VAC, 20 A, Single phase, 50/60 Hz
1996 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de pointe conçu pour être utilisé dans des laboratoires de recherche et développement haut de gamme. Le système utilise des technologies de spectroscopie avancées pour mesurer les propriétés physiques des plaquettes. L'unité fournit des mesures précises de paramètres tels que la résistivité optique et électrique, la microstructure et l'épaisseur du film, permettant aux chercheurs d'optimiser la fabrication de produits microélectroniques de pointe. La machine dispose d'un outil d'inspection puissant, capable d'imiter des plaquettes d'un diamètre de 12 pouces, avec précision et sensibilité à 0,1 micromètre. De plus, l'actif peut numériser et analyser rapidement toute la surface d'une seule plaquette en moins de quelques minutes, ce qui en fait un choix idéal pour les processus à virage rapide. KLA 5100 XP dispose également de deux étages motorisés indépendants pour le positionnement des plaquettes. Les étapes sont capables de mouvements linéaires et rotatifs, offrant aux chercheurs la souplesse nécessaire pour inspecter plusieurs spécimens en une seule séance. Les étapes sont très précises, avec des résolutions à un micron. Le modèle dispose également d'un microscope optique de précision et d'une caméra d'imagerie haute performance. La caméra est capable de capturer des images d'une seule surface ou d'autres caractéristiques individuelles telles que des lignes fines ou des profondeurs de coupe à des résolutions allant jusqu'à 0,1 nanomètres. Le microscope permet aux chercheurs d'analyser les échantillons en profondeur, en fournissant des informations précieuses qui peuvent être utilisées pour optimiser davantage les processus microélectroniques. D'autres caractéristiques de TENCOR 5100XP comprennent un équipement automatisé d'inspection de surface des plaquettes, un système automatisé de collecte de données de déflectométrie pour mesurer la centralisation des plaquettes, et une unité automatisée d'essai des particules pour déterminer la taille et l'emplacement des particules. En conclusion, 5100XP est une machine d'essai et de métrologie avancée conçue pour répondre aux besoins les plus exigeants en recherche et développement. L'outil offre aux chercheurs la flexibilité nécessaire pour mesurer rapidement et avec précision les propriétés des plaquettes, ce qui leur permet d'optimiser leurs processus et de produire des composants microélectroniques de la plus haute qualité.
Il n'y a pas encore de critiques