Occasion KLA / TENCOR 5100 XP #293727708 à vendre en France
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ID: 293727708
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Overlay measurement system, 8"
Wafer loader system:
Transport system: (2) Cassette loader / unloader
Pre-alignment: OF Detection function
Control console:
Menu terminal
Image display terminal
5501 Analysis station
DEC VLC 4000
RAM: 16 MB
QIC Tape drive: 320/525 MB
F.D Drive: 3.5"
Image hard copy
Printer
SECS
Patlite
Hard Disk Drive (HDD): 2 GB
Wafer thickness: 725 µm
Minimum die size: 3 mm
Maximum die size: 50 mm
Measurement throughput: <85 Sheets / hour
Clean dry air:
Flow rate: 84.9 l/min
Pressure 603 kg/cm²-7.7 kg/cm²
Tube, 1/4"
(3) Vacuums:
Hg: 635 mm
Flow rate: 28.3 l/min
Tube, 1/4"
Exhaust:
Duct system: 14.5"
Flow rate: 250 cfm
Temperature: 19°C-25°C
Power supply: 200 VAC, 20 A, Single phase, 50/60 Hz
Missing parts
1996 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour les fabricants de semi-conducteurs. Ce système permet de tester et de sonder les plaquettes de manière efficace et précise pour détecter les défauts et autres irrégularités de processus. L'unité dispose d'un grand champ de vision, permettant une visualisation et une inspection rapides des surfaces de plaquettes avec une résolution extrêmement élevée. Utilisant des configurations optiques uniques, KLA 5100 XP est capable de capturer et de mesurer des points de données jusqu'à 15 μ m de taille, permettant une analyse approfondie des micro et nanostructures. De plus, l'outil FPD (Fringe Pattern Detection) de la machine utilise des algorithmes avancés de traitement du signal pour analyser les motifs de microstructure et de frange pour détecter même les défauts structurels les plus subtils. Un large éventail de capacités de mesure sont disponibles, y compris l'analyse de superposition et d'ESCp, l'analyse de morphologie de surface, la profondeur de gravure, la forme et la rondeur et l'analyse de traces. En outre, l'outil est livré avec un tableau de bord graphique personnalisable pour soutenir la prise de décision. L'actif est équipé d'un modèle de manutention de plaquettes à grande vitesse, capable d'accueillir des plaquettes à surfaces planes et biseautées. Une conception ergonomique permet un fonctionnement efficace et sans effort, et la base de visualisation courbe crée un environnement de travail confortable pour les opérateurs. Un mécanisme de sécurité intégré empêche la rupture accidentelle de plaquettes fragiles. TENCOR 5100XP est optimisé pour les environnements de production et de recherche, ce qui facilite l'intégration dans les processus existants. Son interface facile à comprendre et son ensemble de commandes graphiques intuitives permettent un fonctionnement sans effort et une interprétation des données, ce qui, combiné à des capacités de flux de travail simplifié et flexible, rend l'équipement idéal pour les utilisateurs expérimentés et novices. Dans l'ensemble, KLA 5100XP est un système complet d'essai et de métrologie des plaquettes qui répond parfaitement aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une précision et une fiabilité inégalées, étayées par une série de fonctionnalités avancées, pour fournir des informations précises et précieuses.
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