Occasion KLA / TENCOR 5100 XP #9145531 à vendre en France
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ID: 9145531
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
Overlay measurement system, 8"
1999 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP est un équipement avancé d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour une productivité et un débit maximums dans un large éventail d'applications, telles que les essais de plaquettes semi-conductrices, l'analyse de rendement, et le contrôle avancé des défauts et de la contamination. KLA 5100 XP intègre un système automatisé qui lui permet d'intégrer et de coordonner les différentes étapes de l'essai des plaquettes, y compris l'échantillonnage, le profilage des défauts, la cartographie des plaquettes et la métrologie. Il offre également une unité de métrologie avancée en option conçue spécifiquement pour des applications semi-conductrices exigeantes. TENCOR 5100XP utilise une panoplie de technologies, telles qu'un aligneur unique de plaquettes descendantes, un interféromètre laser et une machine d'imagerie d'inspection de plaquettes (WIIS). Cet outil est extrêmement polyvalent et capable de fournir un aperçu détaillé de l'emplacement, de la taille et du type de défaut. L'outil WIIS est très sensible et capable de capturer des images de défauts de surface et de sous-surface, contribuant à améliorer les rendements et à réduire le coût de production. KLA/TENCOR 5100XP dispose également d'un certain nombre d'outils d'analyse intégrés, tels qu'une analyse statistique des défauts, une mesure de la rugosité des bords de ligne optique et une carte de plaquettes 3D en temps réel. KLA 5100XP a été conçu pour fournir aux opérateurs une gamme de caractéristiques permettant d'améliorer la précision des inspections et des mesures. Il peut être configuré avec une large gamme d'options logicielles automatisées de cartographie des plaquettes et de métrologie, telles qu'un module logiciel de support et la puissante mesure QMet. L'actif comporte également des capacités avancées de détection, de classification et d'analyse des défauts. Le modèle peut détecter plusieurs défauts sur une seule filière et fournir une analyse détaillée de chaque défaut, permettant aux fabricants d'éliminer le processus long d'analyse manuelle des défauts. Enfin, TENCOR 5100 XP dispose d'une interface utilisateur intuitive, permettant aux utilisateurs de créer rapidement et facilement des paramètres de test et de visualiser les résultats avec facilité. 5100 XP comprend également plusieurs outils de mesure automatisés, tels qu'une station de sonde de plaquettes, un déménageur de plaquettes et plusieurs autres instruments motorisés. Tous ces éléments travaillent ensemble de manière coordonnée afin d'assurer une précision et un débit maximums.
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