Occasion KLA / TENCOR 5100 #293603393 à vendre en France
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ID: 293603393
Overlay inspection system
(2) PZT Sensors 450-451849-00
ALMB PCB 710-404368-00
Main frame
Console
Power stabilizer
Exhaust fan
LAMBDA 284BE-1A-1715 Power supply missing.
KLA/TENCOR 5100 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit une caractérisation avancée des procédés et des dispositifs pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est spécialement conçu pour la caractérisation des wafer des appareils de prochaine génération dans le régime de nanomètre sub-2x. Le système utilise une technologie d'imagerie avancée pour quantifier la scatterométrie à faible dose dans une gamme de processus semi-conducteurs. Cela inclut la diffraction lumineuse et l'imagerie de transmission pour l'inspection de contraste élevé et une unité optique autofocus unique pour localiser les défauts critiques et les mesures des points chauds. KLA 5100 offre des taux d'analyse rapides et un étalonnage automatisé, deux caractéristiques clés pour garantir des résultats précis et reproductibles. Son autofocus intégré assure que les images restent au point, même lorsque les plaquettes sont placées à différentes profondeurs, tandis que les routines d'alignement automatique maintiennent la machine d'imagerie correctement alignée pendant le fonctionnement. L'outil possède également une précision d'alignement et une répétabilité supérieures sur un large éventail de matériaux, ce qui permet aux utilisateurs de manipuler facilement l'optique et de s'ajuster rapidement à différents matériaux. En outre, il offre une gamme de techniques d'échantillonnage pour diverses applications, y compris la superposition et la mesure directe pour la caractérisation avancée des appareils. L'actif bénéficie d'un débit élevé avec une vitesse de balayage rapide, une technologie d'imagerie à faible bruit, et des bases de données intégrées et des outils analytiques pour s'assurer que les données sont correctement stockées et facilement accessibles. En outre, il dispose de composants d'interface intelligents et d'outils intuitifs tels qu'un logiciel d'analyse intuitive et une base de données de défauts robuste, ainsi que l'analyse de métrologie en temps réel. La fonction robotique avancée du modèle garantit également la précision en permettant aux utilisateurs de déplacer rapidement l'équipement à n'importe quelle position, en atténuant les tracas de mouvements manuels ou d'attribution des fonctionnalités. TENCOR 5100 est un outil inestimable pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à maximiser leur processus et leur capacité de production. Le système est capable de caractériser rapidement et avec précision les plaquettes, en veillant à ce que les plaquettes à haut rendement arrivent sur le marché avec un maximum d'efficacité. En outre, les fonctionnalités avancées de l'unité, telles que les outils de stockage et d'analyse des données, garantissent que les données collectées sont stockées de manière transparente et correctement organisées. Ainsi, la machine 5100 est un outil puissant pour la fabrication de semi-conducteurs, fournissant des informations essentielles sur la caractérisation des dispositifs pour améliorer le contrôle de la qualité et l'optimisation des processus.
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