Occasion KLA / TENCOR 5100 #293603716 à vendre en France

KLA/TENCOR 5100 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes optiques sans contact. Il offre une grande précision, une grande vitesse, une couverture précise et complète des paramètres de l'appareil tels que les dimensions critiques, les défauts et les cibles de recouvrement. Le système est conçu pour être utilisé dans les dispositifs semi-conducteurs, photoniques et MEMS. La KLA 5100 est équipée d'un système de montage au point de contact avec écran plat intégré et plate-forme motorisée, lui permettant de se déplacer du bord au centre des plaquettes jusqu'à 300mm. Son unité optique avancée est capable de fournir des capacités d'imagerie mono-axe, double-axe et trois axes, ainsi qu'une large gamme de caractéristiques de mesure et d'analyse typiques et personnalisées. Cette machine est également équipée d'une variété de fonctionnalités automatisées pour améliorer la productivité et optimiser la précision. Ces caractéristiques comprennent la mise au point et l'alignement automatiques, la détection automatique des défauts, l'optimisation automatique des contrastes et des stratégies de balayage, l'enregistrement automatique des superpositions et l'optimisation automatique des processus. Les capacités de métrologie avancées de TENCOR 5100 comprennent l'imagerie et la mesure sur des plaquettes à motifs, les bords des appareils, les coins des appareils et les tests de recherche-échec. Des techniques spécialisées telles que le balayage des paliers à air, le positionnement et la mesure en boucle fermée et l'inspection intégrée de la matrice sont également disponibles. La capacité de balayage à grande vitesse est disponible pour fournir un débit plus efficace, tandis que les algorithmes avancés peuvent améliorer les performances d'inspection des plaquettes. 5100 est également habile pour l'examen et l'analyse des défauts. Il est capable de supporter un large éventail d'options d'analyse des défauts, y compris la détection des changements, la cartographie et la classification des défauts totaux, le regroupement des défauts et l'analyse des points chauds. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR 5100 fournit les dernières fonctionnalités pour des tests et métrologie de plaquettes très précis et fiables, permettant aux utilisateurs de maximiser leur rendement, d'améliorer la performance et la fiabilité des produits, et de réduire les déchets et débris.