Occasion KLA / TENCOR 5100 #293619673 à vendre en France

KLA / TENCOR 5100
ID: 293619673
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 5100 est un équipement de nouvelle génération d'essais et de métrologie de plaquettes qui fournit une gamme complète d'applications de métrologie et d'essais pour une variété de substrats de plaquettes. Le système est équipé d'une unité robotique chargée de 300 mm, permettant un chargement et un déchargement rapides et faciles des plaquettes. La machine est également capable de manipuler des tailles de plaquettes allant de 200mm à 300mm et peut traiter à la fois la production et les applications de R&D. KLA 5100 utilise un contrôle avancé des outils, qui permet un fonctionnement efficace avec des débits élevés. L'outil est conçu pour répondre aux besoins des fabricants de semi-conducteurs à haut volume et est conçu pour offrir une gestion de rendement avancée et l'optimisation. L'actif est capable de tester et de mesurer diverses propriétés physiques, électriques, chimiques et mécaniques des plaquettes, y compris des paramètres tels que la courbure, la planéité, la contrainte et l'épaisseur. Le modèle utilise un certain nombre de techniques d'essai non destructives telles que la diffraction des rayons X, l'ellipsométrie et la microvisserie. Il utilise également une gamme d'autres essais relatifs et absolus, y compris la microscopie à force atomique, l'inspection du faisceau d'électrons et la mesure des propriétés thermiques. TENCOR 5100 est équipé d'un équipement d'imagerie en direct qui offre une couverture de test complète de la plaquette et des capacités avancées de traitement d'image. Ce système supporte à la fois la reconnaissance de motifs unidimensionnels et bidimensionnels. L'unité dispose également d'une tête et d'une chambre de balayage haute résolution, permettant à l'utilisateur de voir la même zone jusqu'à cinq fois plus haute en résolution. La machine est conçue pour améliorer le débit en utilisant le positionnement automatisé des échantillons, la manipulation automatisée des échantillons et la rétroaction tactile automatisée. Cela permet de tester rapidement les plaquettes pour des temps de retournement rapides. L'outil permet également des tests multi-applications pour une gestion avancée du rendement. 5100 est équipé d'une panoplie d'applications logicielles de pointe qui offrent des capacités de développement et de test multiplateformes et multi-fournisseurs. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs de personnaliser leur programme de test et d'analyser rapidement les résultats. Il permet également une intégration transparente des données de test provenant de différentes plates-formes. Toutes les applications logicielles utilisées dans l'actif sont compatibles avec le matériel et les systèmes clients existants, assurant une personnalisation rapide et facile. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR 5100 est un modèle avancé d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit une gamme de capacités de test et de mesure pour une variété de substrats de plaquettes. C'est un outil idéal pour les fabricants de semi-conducteurs à haut volume qui doivent éliminer les défauts rapidement et avec précision. L'équipement permet des essais et des analyses de données efficaces, ce qui permet de rapporter rapidement les résultats des essais. En outre, ses applications logicielles avancées permettent une personnalisation et une interopérabilité faciles avec le matériel et les systèmes clients existants.
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