Occasion KLA / TENCOR 5100 #293630321 à vendre en France

ID: 293630321
Overlay measurement and inspection system Spares included.
KLA/TENCOR 5100 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour mesurer les dimensions critiques des appareils sur des plaquettes nues et à motifs pour la production, la recherche et le développement de semi-conducteurs. Il utilise des techniques d'imagerie avancées pour capturer les données topographiques de surface de l'échantillon, en plus d'une gamme de techniques spectroscopiques et d'inspection optique à grande vitesse pour obtenir des résultats in-die/on-wafer. Le KLA 5100 fonctionne de façon non destructive et sans contact, en utilisant une technologie d'imagerie haute résolution qui donne des résultats de mesure précis et reproductibles tout en limitant au minimum la contrainte sur le matériau. Ce système offre un véritable balayage à l'ouverture de huit pouces, un champ de vision plus grand que les technologies standard de microscope optique, permettant la capture de plus de données dans moins de cycles d'inspection. Sa capacité d'inspection optique à haute vitesse permet d'accélérer le développement de produits et de générer des efforts de récupération. En analysant à la fois les données sur les plaquettes et les niveaux de filière, TENCOR 5100 fournit une caractérisation rapide des matériaux, des caractéristiques, des défauts, des dés d'essai et de l'uniformité de la filière. De plus, ses capacités de métrologie permettent de caractériser localement les structures de la matrice pour évaluer la fonctionnalité. L'unité est équipée d'un moteur breveté de reconnaissance de motifs pour l'extraction et l'analyse automatisées des caractéristiques. Ce moteur traite des images de dispositifs ou de polygones, en extrayant une variété de données de métrologie liées à leur taille physique, leur forme et leur positionnement. Ses puissants outils d'analyse des particules soutiennent les efforts de recherche, la détection de particules et d'autres fonctionnalités difficiles à trouver à l'aide d'algorithmes avancés de détection d'anomalies. 5100 peuvent être personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques des clients, en prenant en charge un large éventail d'environnements et d'applications. La machine debout libre est bien adaptée pour le tri des plaquettes, l'ingénierie, les laboratoires universitaires et de recherche. En outre, il peut être intégré dans les lignes de processus de production existantes, dans le cadre d'un processus automatisé ou manuel. La combinaison des capacités d'imagerie et d'analyse de données non destructives et à grande vitesse de KLA/TENCOR 5100, ainsi que sa conception polyvalente et compacte en font un choix idéal pour les essais de plaquettes de pointe et la métrologie. L'outil fournit des données précises et exploitables pour réduire les temps de cycle et les coûts - permettant la recherche et la production de semi-conducteurs de pointe.
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