Occasion KLA / TENCOR 5100 #293664945 à vendre en France

KLA / TENCOR 5100
ID: 293664945
Inspection system.
KLA/TENCOR 5100 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé dans l'industrie électronique. Il permet l'inspection et la métrologie des plaquettes de précision avec des résultats fiables et reproductibles. Ce système se compose d'un puissant étage de microscopie haute résolution et de multiples outils d'évaluation de la propriété physique intégrés à un logiciel d'analyse automatisée et intelligente des données. L'unité KLA 5100 dispose d'une machine de manutention automatisée des plaquettes et d'un outil d'imagerie au microscope électronique à balayage vertical. Le gestionnaire automatisé de plaquettes assure un positionnement et une orientation précis et reproductible des plaquettes avec une précision micrométrique. Cet actif d'imagerie au microscope électronique à balayage offre une résolution supérieure, une répétabilité élevée et un vaste champ de vision pour une métrologie précise des plaquettes. Les outils d'évaluation des propriétés physiques du modèle TENCOR 5100 comprennent la profilométrie laser, l'imagerie statique et dynamique, la surveillance des défauts et la concentration sur les mesures planes. La technologie de profilométrie laser, qui est une technologie de balayage pour le profilage 3D et la mesure des surfaces de matériaux, offre la plus haute résolution de profondeur pour la topographie, l'épaisseur, la rugosité, la hauteur, et l'analyse de granulométrie. Les technologies d'imagerie statique et dynamique offrent des capacités supplémentaires d'analyse d'image pour la reconnaissance des motifs, la classification des défauts et la surveillance des plaquettes multicouches afin d'améliorer le rendement et de réduire les pannes. La fonction de surveillance des défauts effectue également une caractérisation rapide et précise des défauts en utilisant une imagerie ciblée pour identifier et trier les défauts tels que les expulsions de lignes et les déplacements de résistivité. L'accent mis sur les mesures planes permet de mesurer avec précision l'épaisseur ou la planéité d'une plaquette pour le contrôle de la qualité de la production. Les inclusions de focalisation réglables fournissent une mesure spécialisée des tailles et des formes des caractéristiques. Il dispose également d'un équipement de gestion de mémoire qui stocke les données collectées par les composants imagerie et métrologie. Le logiciel avancé intégré dans 5100 système fournit des algorithmes automatisés qui peuvent analyser les images et les propriétés avec plus de vitesse et de précision que les inspections manuelles. Il offre également une interface utilisateur intuitive optimisée pour les applications de mesure de plaquettes, avec de puissantes capacités d'analyse en temps réel et des outils de visualisation de données. Cette suite logicielle intégrée est conçue pour l'analyse efficace des données, l'optimisation semi-automatique des paramètres de processus, et l'optimisation basée sur les recettes de processus. En résumé, KLA/TENCOR 5100 est une unité avancée d'essai et de métrologie des plaquettes qui offre une inspection et une métrologie des plaquettes de précision avec des résultats fiables et reproductibles. Avec son puissant étage de microscopie haute résolution, de multiples outils d'évaluation de la propriété physique et une suite logicielle intégrée, il offre des capacités avancées pour la caractérisation rapide et précise des défauts, l'évaluation de la topographie, le contrôle de la qualité de la production et l'optimisation des recettes.
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