Occasion KLA / TENCOR 5100 #9043939 à vendre en France

KLA/TENCOR 5100 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer haut de gamme conçu pour le contrôle des processus de production et l'analyse des données. Il combine les caractéristiques de plusieurs équipements d'essai existants pour créer un système intégré capable de tests remarquablement précis, rapides et fiables. KLA 5100 est basé sur un outil quad-beam qui mesure les caractéristiques des plaquettes avec quatre codeurs laser pour permettre la mesure ultra-précise des caractéristiques en un seul balayage. Un certain nombre de types différents de systèmes de traitement de codeur peuvent être installés, créant une flexibilité exceptionnelle et des précisions de mesure pour les mesures électriques et optiques. Il est construit avec une chambre de procédé avancée pour protéger les instruments sensibles contre les matériaux liés aux procédés, les poussières et les contaminants atmosphériques. Cela permet également l'intégration de plaquettes dopées, d'implantation ionique et d'autres outils de processus. TENCOR 5100 a une fenêtre de processus extrêmement grande, permettant un débit beaucoup plus élevé que celui disponible avec une unité de faisceau unique. La machine d'imagerie intégrée de 5100 peut être utilisée pour capturer des images de la plaquette avec une haute résolution et des temps de balayage rapides. Il est donc très facile d'identifier rapidement les caractéristiques importantes et les anomalies potentielles du processus. KLA/TENCOR 5100 dispose également de capacités de métrologie haut de gamme telles que des systèmes d'alignement avancés, une optique de grossissement élevé et une métrologie latérale. Cela permet de mesurer avec précision de petites caractéristiques, telles que la dimension critique (CD), ainsi que d'évaluer les caractéristiques de performance électrique. Enfin, KLA 5100 utilise des logiciels complexes pour recueillir les résultats des étapes du processus, du test et de la métrologie, et les analyser afin d'assurer le processus le plus optimal et le plus fiable. Cela permet d'identifier rapidement les problèmes de processus qui pourraient surgir et de prendre des mesures correctives pour les résoudre. TENCOR 5100 est un outil de test et de métrologie de plaquettes extrêmement performant qui apporte les avantages de flexibilité, de précision, de débit et d'analyse aux planchers de production. C'est un atout idéal pour l'évaluation, l'amélioration et l'optimisation des processus de wafer.