Occasion KLA / TENCOR 5100 #9182972 à vendre en France

ID: 9182972
Inspection system.
KLA/TENCOR 5100 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui fournit une détermination efficace et fiable des paramètres de plaquettes. Ce système est conçu pour mesurer et analyser rapidement une gamme de dimensions critiques, de paramètres topographiques, de rugosité de surface et d'autres caractéristiques critiques des plaquettes. KLA 5100 utilise une optique sophistiquée et une technologie de détection de déformations optiques pour saisir avec précision les données relatives aux caractéristiques de la plaquette. L'appareil dispose d'une caméra d'imagerie CMOS haute résolution, d'un spectromètre haute résolution, d'un codeur haute précision, d'un moteur pas à pas haute précision pour le mouvement des plaquettes et d'une machine de traitement du signal multi-canaux pour des mesures précises. L'outil est capable de cartographier le profil de la plaquette à grande vitesse, en profondeur et avec précision. Il peut détecter tout changement de topographie dû à la gravure ou à l'amincissement de la surface de la plaquette. L'optique avancée de l'actif peut mesurer la topographie de la surface, tandis que la caméra CMOS haute résolution peut scanner la surface pour détecter les tailles, les hauteurs et les emplacements des fonctionnalités. TENCOR 5100 est équipé d'un modèle sophistiqué de traitement du signal pour mesurer les paramètres de profil de la plaquette. Cet équipement dispose d'un système de traitement du signal multi-canaux qui peut détecter les caractéristiques des plaquettes avec précision et vitesse. L'unité dispose également d'un palier à air de précision qui assure la précision des données de mesure. Les données collectées par la machine sont utilisées pour analyser les caractéristiques critiques de la plaquette. L'analyse comprend un examen complet de la taille des caractéristiques, de leur forme, de leur rugosité, de leur profil de surface, de leur emplacement et d'autres paramètres. Ces données aident les fabricants à diagnostiquer rapidement les problèmes de plaquettes et à optimiser le processus pour améliorer la qualité du produit. Dans l'ensemble, 5100 est un outil de test et de métrologie de plaquettes très efficace et fiable qui offre des fonctionnalités avancées pour l'analyse rapide et la mesure précise. Il assure une production de plaquettes de haute qualité en fournissant des données en temps réel sur les caractéristiques critiques de la plaquette.
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