Occasion KLA / TENCOR 5100 #9236713 à vendre en France

KLA / TENCOR 5100
ID: 9236713
Taille de la plaquette: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR 5100 est un équipement d'essai et de métrologie haute performance conçu pour répondre aux besoins de l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Sa technologie optique de pointe, son fonctionnement à grande vitesse, son large éventail de capacités et son fonctionnement automatisé en font une solution idéale pour les laboratoires de production et de recherche. KLA 5100 dispose d'un système d'inspection optique automatisé, capable de scanner automatiquement les plaquettes pour tout défaut. Sa tête optique combine deux diodes laser, une unité d'imagerie et deux angles de substrat différents, permettant une inspection 3D de la surface de la plaquette. Cette machine est capable de détecter des défauts à l'échelle du micron, et peut effectuer jusqu'à 4 mesures par seconde. TENCOR 5100 comprend également des outils et des capacités de métrologie avancées. Il peut mesurer des niveaux de film sec allant jusqu'à 25 microns et profiler jusqu'à 50 microns. Il peut également effectuer des mesures de recouvrement allant jusqu'à +/-2 microns. De plus, cet outil peut mesurer la résistivité et l'épaisseur du film jusqu'à 40 nanomètres. En termes de fonctionnement et d'automatisation, 5100 est équipé d'une station intégrée Wafer-Probe, lui permettant de contrôler des plaquettes avec une précision allant jusqu'à 1 micron. En outre, cet actif est capable de charger et décharger automatiquement des plaquettes, éliminant l'intervention des utilisateurs. KLA/TENCOR 5100 peut également être télécommandé et programmé, permettant un fonctionnement plus facile et un traitement plus efficace des plaquettes. Ce modèle s'intègre à la plupart des outils de traitement standard de l'industrie et peut être utilisé avec divers systèmes informatiques hôtes. Dans l'ensemble, le KLA 5100 est une solution avancée et efficace pour les besoins d'essais de plaquettes et de métrologie. Avec sa gamme de fonctionnalités, son fonctionnement rapide et ses tâches automatisées, cet équipement est un choix idéal pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.
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