Occasion KLA / TENCOR 5100 #9351407 à vendre en France

KLA/TENCOR 5100 wafer testing and metrology equipment est une plate-forme polyvalente conçue pour assurer le contrôle de la qualité et le contrôle des processus dans l'industrie de la fabrication de circuits microélectroniques. Le système est équipé d'une optique de pointe pour mesurer avec précision les dimensions critiques et les caractéristiques sur les plaquettes. Il intègre un module de métrologie automatisé pour analyser rapidement des modèles complexes dans des plaquettes à haute résolution, fournissant un haut débit et un contrôle fiable des processus. KLA 5100 utilise une unité de microscopie optique automatisée pour l'inspection de motifs sur une variété de substrats, y compris des plaquettes de gravure de plasma et des couches de résistance. Il dispose d'un détecteur haute résolution et d'un logiciel sophistiqué pour identifier les petits défauts comme les puits et les vides, ainsi que des mesures microscaliques précises. Une micro-machine électromécanique (MEMS) tête d'essai sur l'outil permet de sonder et de tester rapidement et avec précision les signaux électriques sur des échantillons spécifiques sur des plaquettes. Cette technologie MEMS est utilisée pour mesurer avec précision la fonctionnalité et les propriétés électriques des circuits intégrés. TENCOR 5100 dispose également d'un atout multi-capteurs pour mesurer l'épaisseur, la réflectivité et la topographie des surfaces de plaquettes, ainsi que d'une option de polissage chimique-mécanique (CMP) qui teste l'uniformité des surfaces créées par les techniques de polissage chimique-mécanique. De plus, le modèle intègre un scatteromètre optique pour mesurer l'uniformité des épaisseurs de couches, et un outil de mesure de non-uniformité de surface (NUSM) pour analyser les irrégularités microscopiques à la surface de la plaquette. 5100 est capable de tester des plaquettes dans une gamme de dimensions allant de moins de 1 mm à un maximum de 450 mm. En termes d'analyse de données, l'équipement peut être utilisé pour créer des diagrammes de contrôle de processus et des valeurs pour mesurer la stabilité du processus au fil du temps. En outre, le système fournit une interface utilisateur intuitive qui est idéal pour développer des applications de recherche et de développement dans l'industrie des semi-conducteurs. KLA/TENCOR 5100 wafer testing and metrology unit est une plate-forme polyvalente conçue pour fournir un débit élevé, une mesure précise et un contrôle de processus fiable pour l'industrie des semi-conducteurs. Il intègre une variété de technologies de pointe pour analyser des motifs complexes et des propriétés électriques sur des plaquettes, et pour fournir les données quantitatives nécessaires au contrôle des processus. La machine est capable de mesurer des dimensions de plaquettes de moins de 1 mm à 450 mm, ce qui en fait un choix idéal pour analyser une grande variété de substrats.