Occasion KLA / TENCOR 5105 #293592897 à vendre en France

KLA/TENCOR 5105 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la production de plaquettes de pointe et le contrôle des processus. Il est basé sur la technologie d'inspection et de métrologie 1D et 2D éprouvée par KLA, et intègre un nouveau système de microscopie optique de 300mm avec des capacités d'auto-étalonnage pour améliorer le débit, améliorer la précision et augmenter la productivité. L'unité offre une métrologie d'alignement de géométrie 2D avec reconnaissance automatique des motifs et une architecture de mise au point unique. KLA 5105 améliore la précision de mesure de la largeur de ligne et réduit les plages de mesure, permettant un contrôle efficace de la largeur de ligne. De plus, la machine est capable de détecter et d'analyser les défauts des plaquettes tels que les vides, les rayures et les particules. TENCOR 5105 utilise la technologie de balayage confocal TENCOR innovante pour assurer des mesures précises et répétables tout en réduisant les temps de collecte des données et les coûts associés. L'outil est capable d'effectuer 48 points de mesure en un balayage complet, ce qui se traduit par un plus grand débit et des rendements finaux plus élevés. Les algorithmes intégrés de traitement d'image permettent également une meilleure analyse des particules. Avec son actif avancé bas kV, 5105 est optimisé pour les plaquettes de 200mm et capable de 100 microns de résolution pour des mesures précises de la taille des particules. Cette caractéristique augmente encore le rendement en identifiant rapidement et efficacement les défauts critiques. Grâce à son puissant logiciel OpcentreFaber 4.2, KLA/TENCOR 5105 est spécialement conçu pour analyser en peu de temps une seule plaquette et des séquences en panneau plein. Le modèle est équipé d'un moniteur CMP intégré en temps réel et d'un équipement de classification des défauts qui classe et mesure précisément les défauts résistifs ouverts. Dans l'ensemble, le KLA 5105 est une option idéale pour les essais de plaquettes et la métrologie, offrant une vitesse, une précision, un débit et une précision améliorés. Il permet également un contrôle accru des procédés et une optimisation des rendements. Le système est un outil précieux pour surveiller et analyser les défauts critiques, réduire les temps de cycle et obtenir des rendements plus élevés.