Occasion KLA / TENCOR 5107 #9105810 à vendre en France

KLA/TENCOR 5107 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour mesurer, inspecter, caractériser et analyser avec précision les plaquettes contenant à la fois des dispositifs semi-conducteurs et des dispositifs MEMS. Ce système utilise une gamme d'optiques de précision, de capteurs et de systèmes d'imagerie qui lui permettent d'analyser une variété de dimensions de matrice et d'espaces d'application. Le composant principal de KLA 5107 est son étage XY de haute précision, qui permet de sonder et de tester avec précision la filière à l'intérieur de la plaquette. L'étage XY est capable de déplacer la filière entre les sites d'essai à des vitesses allant jusqu'à 300mm/s avec une précision de fin de campagne submicronique, en veillant à ce que les mesures soient cohérentes sur une zone d'essai donnée. L'unité est en mesure de reconnaître automatiquement une gamme de tailles de matrice et de régions, ce qui permet de sélectionner des décès individuels dans la plaquette pour les tests. TENCOR 5107 dispose d'une gamme de systèmes d'imagerie haute résolution, permettant d'identifier et de caractériser les défauts des plaquettes. Il s'agit notamment de deux caméras indépendantes de numérisation en ligne, qui fournissent des résolutions d'image jusqu'à 10,2 um, ainsi que de cinq caméras de zone pour l'imagerie haute résolution des caractéristiques de la matrice. 5107 comprend également des systèmes d'éclairage avancés, permettant de mettre en évidence des structures spécifiques à l'arrière de la matrice. Pour les applications de métrologie, KLA/TENCOR 5107 est équipé d'une gamme de systèmes d'inspection 3D qui permettent de mesurer la hauteur et la rugosité de la surface, l'épaisseur des couches minces et des matériaux, la mesure des écarts et l'enregistrement de la matrice. Ces mesures sont toutes effectuées avec une grande précision, assurant une représentation précise de la structure microscopique de la filière dans l'analyse et le développement du procédé. KLA 5107 est également équipé d'une gamme d'outils logiciels d'analyse, qui améliorent les capacités de la machine et permettent une analyse plus poussée des données d'inspection. Ces outils intègrent également des techniques d'extraction de données, qui peuvent générer des rapports tendancieux d'élaboration de processus et d'analyse des rendements. Dans l'ensemble, TENCOR 5107 est un outil de test et de métrologie de plaquettes hautement capable pour l'industrie des semi-conducteurs. Il combine l'optique de précision, les systèmes d'imagerie et les outils d'analyse pour permettre la mesure et la caractérisation de la matrice jusqu'à la micro-échelle, assurant la précision des applications d'essai et de métrologie.