Occasion KLA / TENCOR 5107 #9117500 à vendre en France

KLA/TENCOR 5107 Wafer Testing and Metrology Equipment est un système multi-canaux très avancé conçu pour des essais précis de wafer et des mesures de métrologie. Cette unité de référence offre un large éventail de capacités, y compris l'inspection des défauts de plaquettes structurées, la métrologie 3D, les mesures de largeur de ligne et l'inspection des dimensions critiques (CD). KLA 5107 utilise une machine d'imagerie haute résolution qui obtient un rapport contraste/bruit supérieur à 1:200 pour une variété de matériaux, ainsi que des motifs imprimés et gravés. Les caractéristiques de l'outil comprennent également un module d'asservissement numérique pour le contrôle des mouvements, une plate-forme d'intégration multi-canaux pour une meilleure manipulation des plaquettes, et un module d'acquisition de données exceptionnellement rapide pour des résultats précis. Le traitement des plaquettes se fait automatiquement, ce qui élimine le besoin de manutention manuelle. TENCOR 5107 dispose également d'algorithmes avancés pour l'analyse et permettent des mesures précises. Par conséquent, l'actif peut détecter des défauts qui sont aussi petits que 10nm avec une précision de 0.2nm. En outre, le modèle peut mesurer le placement de motifs avec une précision allant jusqu'à 20nm, ainsi que la réduction de la taille des détails dans les technologies de largeur de ligne - un facteur clé dans le monde de la fabrication de semi-conducteurs. 5107 comprend également des outils d'automatisation avancés pour le traitement qui simplifie un certain nombre d'étapes associées à l'essai des plaquettes et à la métrologie. L'équipement automatisé est capable de détecter, reproduire et analyser les mesures en une seule opération, éliminant le besoin de manutention manuelle. Cela réduit le temps et les efforts requis pour l'analyse des données, ce qui en fait l'un des systèmes de mesure les plus rapides disponibles. KLA/TENCOR 5107 propose des solutions avancées pour l'essai des plaquettes de précision et les besoins en métrologie. Avec sa combinaison unique d'automatisation, d'imagerie haute résolution et d'outils d'analyse avancés, ce système fournit aux utilisateurs des solutions très précises et efficaces. En outre, son centre d'intégration multi-canaux et ses modules d'acquisition de données exceptionnellement rapides le rendent idéal pour toutes les applications nécessitant des tests de plaquettes précis et des mesures de métrologie.