Occasion KLA / TENCOR 5200 #293603874 à vendre en France

KLA/TENCOR 5200 Matériel automatisé de métrologie et d'essai des plaquettes est un système entièrement automatisé de métrologie et d'essai conçu pour accélérer le développement et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est idéal pour l'emballage en circuit intégré (IC), la fabrication et l'assemblage en IC et les essais Die-to-Wafer (DTW). L'unité offre un débit élevé, une grande précision et des capacités d'essai et d'inspection fiables pour les essais au niveau de la plaquette, comme les mesures d'épaisseur de la couche diélectrique, les mesures de réflectivité de la plaquette, les mesures de rugosité de surface, les inspections optiques et l'amélioration du rendement. La machine permet également l'évaluation de divers matériaux, tels que le cuivre, les substances cuivrées, les diélectriques et les verres. KLA 5200 est un outil modulaire de test et de métrologie, composé d'un certain nombre de sous-systèmes. Ces sous-systèmes sont : - Wafer Load Port : Le Wafer Load Port est le point d'entrée pour le chargement et le déchargement des wafers. Il dispose de robots de transfert et de manutention de plaquettes pneumatiques, ainsi que d'un atout de vision aérodynamique équilibré. - Wafer Changer Ports : Wafer Changer Ports sont utilisés pour déplacer et stocker des wafers entre les différents sous-systèmes. - Station de Bias : La station de Bias est une station de Bias haute vitesse et de haute précision. Il est conçu pour effectuer une variété d'essais et de mesures au niveau des plaquettes pour améliorer le rendement de production. - Station d'alignement : La station d'alignement est utilisée pour aligner et sécuriser les plaquettes avant les essais et la métrologie. La station est également utilisée pour sécuriser et orienter les plaquettes avant les processus de test et de métrologie. - Station de métrologie : La station de métrologie est le principal sous-système d'essais et de métrologie. Il est conçu pour fournir des tests et des mesures précises, répétables et fiables au niveau des plaquettes. - Caméra CCD : La caméra CCD est utilisée pour l'imagerie haute performance et l'inspection des plaquettes. Il est idéal pour la reconnaissance et la classification des défauts, ainsi que pour l'analyse fine des motifs de plaquettes. - Wafer Transport : Le modèle Wafer Transport est utilisé pour déplacer les wafers entre les différents sous-systèmes. Il est capable de porter jusqu'à 120 plaquettes à la fois. En plus des sous-systèmes ci-dessus, TENCOR 5200 comprend également une suite logicielle complète pour le contrôle automatisé et la collecte de données. Le logiciel fournit une interface conviviale pour l'inspection, la surveillance et la gestion de tous les aspects de l'équipement, y compris la configuration du système, le chargement des plaquettes, la configuration des paramètres du processus et les résultats des tests. Au total, 5200 Wafer Test and Metrology Unit offre une solution complète, à haut débit, de test et de métrologie de haute précision pour le développement et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il permet des mesures rapides et fiables de l'épaisseur des couches diélectriques, des mesures de réflectivité des plaquettes, des mesures de rugosité de surface, des inspections optiques et de l'amélioration des rendements.